[实用新型]基于空芯光子晶体光纤的超连续谱激光光源及检测系统

权利要求书

1.一种基于空芯光子晶体光纤的超连续谱激光光源，其特征在于，包括飞秒激光器、泵浦耦合装置以及空芯光子晶体光纤；

所述飞秒激光器用于生成具有飞秒脉冲的初始激光；

所述泵浦耦合装置用于接收所述初始激光，并将所述初始激光耦合入所述空芯光子晶体光纤内；

所述空芯光子晶体光纤用于对耦合进入其中的初始激光进行增益，以得到目标光束。

2.如权利要求1所述的激光光源，其特征在于，所述飞秒激光器为产生脉宽范围小于900fs的初始激光的激光器。

3.如权利要求1所述的激光光源，其特征在于，所述泵浦耦合装置包括耦合光纤、非球面透镜、光学棱镜组、耦合物镜、光学透镜阵列、全息漫反射器件、衍射光学器件中的任一个或者多个。

4.如权利要求1所述的激光光源，其特征在于，所述空芯光子晶体光纤包括至少一条空芯光子晶体子光纤。

5.如权利要求4所述的激光光源，其特征在于，所述空芯光子晶体子光纤的中心波长位于近红外波段范围内。

6.一种检测系统，其特征在于，包括载物台、控制单元、成像装置以及基于空芯光子晶体光纤的超连续谱激光光源；

所述载物台用于放置待检测晶圆；

所述控制单元用于控制所述载物台进行相应的转动，并控制所述激光光源以及所述成像装置的工作状态；

所述成像装置包括调制单元以及摄像机，所述调制单元用于控制所述激光光源生成的目标光束照射至随载物台进行相应转动的待检测晶圆的表面；所述摄像机接收所述待检测晶圆的表面的反射光以及散射光，以得到所述待检测晶圆的整个表面的扫描图像，并将所述扫描图像发送至控制单元进行检测分析；

其中，所述激光光源包括：飞秒激光器、泵浦耦合装置以及空芯光子晶体光纤；

所述飞秒激光器用于生成具有飞秒脉冲的初始激光；

所述泵浦耦合装置用于接收所述初始激光，并将所述初始激光耦合入所述空芯光子晶体光纤内；

所述空芯光子晶体光纤用于对耦合进入其中的初始激光进行增益，以得到目标光束。

7.如权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述飞秒激光器为产生脉宽范围小于900fs的初始激光的激光器。

8.如权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述泵浦耦合装置包括耦合光纤、非球面透镜、光学棱镜组、耦合物镜、光学透镜阵列、全息漫反射器件和衍射光学器件中的任一个或者多个。

9.如权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述空芯光子晶体光纤包括至少一条空芯光子晶体子光纤。

10.如权利要求9所述的检测系统，其特征在于，所述空芯光子晶体子光纤的中心波长位于近红外波段范围内。