[实用新型]一种旋转放置平台机构

权利要求书

1.一种旋转放置平台机构，用于晶圆片测试，其特征在于：包括

固定底座；

旋转底座，所述旋转底座转动安装在固定底座上，所述旋转底座至少包括一个用于测试时的竖直状态；

其中，所述旋转底座的一端设有抱持机构，用于抱持住被测片；所述旋转底座上转动设有自转平台A和转动安装在自转平台A上的自转平台B，所述自转平台B上设有升降吸附装置，用于配合抱持机构固定或释放被测片；所述自转平台B上固定设有调节平台，所述调节平台上可选择的安装有用于支撑不同规格被测片的支撑柱B。

2.如权利要求1所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述调节平台的端面均匀分布有至少两个通孔，所述通孔内通过螺纹连接可拆卸安装有支撑柱B，所述支撑柱B外壁上设有一圈凹槽用于卡住被测片。

3.如权利要求2所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述调节平台的端面均匀分布有6×6个通孔，所述支撑柱B可任意选择其中两个安装连接。

4.如权利要求1所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述吸附装置包括固定在自转平台B上的升降气缸，所述升降气缸滑动连接有升降吸盘，用于吸取被测片。

5.如权利要求4所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述抱持机构包括固定座，所述固定座通过滑杆滑动安装有带测力传感器的抱持夹手，所述抱持夹手的后端连接有第一驱动装置，用于控制抱持夹手的松紧动作。

6.如权利要求1所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述自转平台A沿边缘固定设有用于支撑被测片的支撑柱A，所述支撑柱A外壁上设有一圈凹陷用于卡住被测片。

7.如权利要求1所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述旋转底座底部固定安装有第一旋转驱动部件，所述第一旋转驱动部件转动连接有中空旋转轴，所述中空旋转轴的另一端转动安装在自转平台A底部。

8.如权利要求7所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述中空旋转轴与自转平台B通过连接轴承连接，所述连接轴承通过皮带机构连接有安装在自转平台B底部的第二旋转驱动部件。

9.如权利要求1所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述旋转底座侧壁上沿轴线对称安装有旋转轴，所述固定底座上固定安装有第二驱动装置，所述第二驱动装置通过旋转轴的一端与旋转底座连接，用于驱动旋转底座沿旋转轴转动。

10.如权利要求8所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述第二旋转驱动部件为气缸或者为电机。