[实用新型]一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘

权利要求书

1.一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘，包括吸盘体(1)、外方环(4)和气管(11)，其特征在于：所述吸盘体(1)的底部镶嵌连接环形的橡胶垫(2)，所述吸盘体(1)的内部固定连接横板(3)，所述横板(3)的一端固定连接外方环(4)，所述外方环(4)的内部一侧连接橡胶层(5)，所述橡胶层(5)的内侧固定连接内方环(6)，所述吸盘体(1)的上端中心位置固定连接中空管(7)，所述中空管(7)的一侧固定连接有连接块(8)，所述连接块(8)螺纹连接有连接头(9)，所述连接头(9)的内部卡接密封垫(10)，所述连接头(9)的一侧固定连接气管(11)，所述内方环(6)的上端固定连接移动杆(12)，所述移动杆(12)的上端固定连接有连接环(13)，所述连接环(13)两侧固定连接推动块(14)，所述推动块(14)与推动螺杆(15)螺纹连接，所述吸盘体(1)的上端固定连接上连杆(16)，所述上连杆(16)的上端中心位置固定连接上卡块(17)，所述上卡块(17)与机械臂(18)卡接连接。

2.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘，其特征在于：所述吸盘体(1)为环形设置，所述橡胶垫(2)的底部与外方环(4)和内方环(6)底部设置在同一平面上。

3.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘，其特征在于：所述外方环(4)和内方环(6)均为方形设置，所述外方环(4)和内方环(6)为同心设置。

4.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘，其特征在于：所述内方环(6)的两侧分别通过橡胶层(5)与两侧的外方环(4)和中空管(7)连接，所述橡胶层(5)为弹性设置。

5.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘，其特征在于：所述吸盘体(1)的上端设置与移动杆(12)匹配的孔，所述移动杆(12)设置为四个，所述移动杆(12)与内方环(6)的四个角上端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘，其特征在于：所述连接环(13)为环形设置，所述连接环(13)的两侧连接对称的推动块(14)，所述推动螺杆(15)的一端与吸盘体(1)上端活动连接。