[实用新型]一种化学气相沉积炉炉盖

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉炉盖，包括水冷钢外壳（2），其特征在于：所述水冷钢外壳（2）上端设置有排气管（1），所述水冷钢外壳（2）下端外侧设置有侧板（3），所述侧板（3）内填充保温棉（4）；

所述水冷钢外壳（2）底部放置有底板（5），所述水冷钢外壳（2）下部穿过保温棉（4）和底板（5）焊接有连接杆（6），所述连接杆（6）通过螺母（7）拧紧在压紧底板（5）底部。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉炉盖，其特征在于：所述侧板（3）采用厚度为2-20mm的Cr₂₅Ni₂0耐热钢。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉炉盖，其特征在于：所述保温棉（4）的材质为导热系数≤0.05W/(m.K)的硅酸铝纤维棉，所述保温棉（4）填充厚度在100-1000mm范围之间。

4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉炉盖，其特征在于：所述底板（5）采用拼接方式，拼接缝处增加加强筋，加强筋能有效提高底板的承载能力，底板（5）的采用2-20块板拼接，并且在接缝处留有膨胀缝，膨胀缝大小为2-20mm，每块板上面开有6个12孔，碳/碳复合材料板密度0.8g/cm³，板厚度为3-50mm之间，底板上面开孔。

5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉炉盖，其特征在于：所述连接杆（6）采用直径5-20mm的Cr₂₅Ni₂0耐热钢，连接杆一端车有螺纹，连接杆的分布位置与底板上面孔的位置相对应。

6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉炉盖，其特征在于：所述底板（5）拼接缝的地方增加加强筋（8），所述加强筋（8）所采用的材料与底板（5）相同，为碳/碳复合材料板密度0.8g/cm³，板厚度为3-50mm之间。

7.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉炉盖，其特征在于：所述螺母（7）规格为M10，外径为40mm，密度0.8g/cm³的碳/碳复合材料。