[实用新型]玻片扫描机有效
申请号: | 202020012290.2 | 申请日: | 2020-01-05 |
公开(公告)号: | CN211652564U | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 卓少文;王珣章;李雨红;麦兴东;许明生 | 申请(专利权)人: | 广州市汇研微电子技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01N21/01;B65G49/06 |
代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 王新爱 |
地址: | 511440 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扫描机 | ||
1.一种玻片扫描机,其特征在于,包括:
机体(100),所述机体(100)设有扫描镜头(200);
扫描平台(300),所述扫描平台(300)设于所述扫描镜头(200)下方,包括驱动机构以及设置在所述驱动机构上的放置凹槽(310),所述驱动机构设于所述机体(100),所述驱动机构带动所述放置凹槽(310)沿前后、左右、以及上下方向移动。
2.根据权利要求1所述的玻片扫描机,其特征在于,所述驱动机构包括可水平移动的XY移动平台(320)以及用于驱动所述XY移动平台(320)进行竖直升降的Z轴移动机构,所述放置凹槽(310)设置在所述XY移动平台(320)的上表面,所述Z轴移动机构设于所述机体(100)。
3.根据权利要求2所述的玻片扫描机,其特征在于,所述XY移动平台(320)包括X轴移动机构(321)、设置在所述X轴移动机构(321)的上表面的Y轴移动机构(325)以及设置在所述X轴移动机构(321)的下表面的承载平台(326),所述承载平台(326)与所述Z轴移动机构传动连接,所述Z轴移动机构可带动所述承载平台(326)做竖直升降运动。
4.根据权利要求3所述的玻片扫描机,其特征在于,所述Y轴移动机构(325)相对于所述X轴移动机构(321)的运动由第一直线电机组件驱动,所述X轴移动机构(321)相对于所述承载平台(326)的运动由第二直线电机组件驱动。
5.根据权利要求4所述的玻片扫描机,其特征在于,所述第一直线电机组件包括第一电机初级(322)以及第一电机次级(323),所述第一电机初级(322)设置在所述X轴移动机构(321)上表面的一侧边,所述第一电机次级(323)设置在所述Y轴移动机构(325)上,其设置位置与所述第一电机初级(322)的设置位置相对应。
6.根据权利要求5所述的玻片扫描机,其特征在于,所述第二直线电机组件包括第二电机初级以及第二电机次级,所述第二电机初级设置在所述承载平台(326)上,所述第二电机次级设置在所述X轴移动机构(321)的下表面,其设置方向与所述第一电机初级(322)相互垂直。
7.根据权利要求6所述的玻片扫描机,其特征在于,所述承载平台(326)的后方设置有燕尾槽(327),所述机体(100)上与所述燕尾槽(327)对应的设置有竖直轨道(328),所述承载平台(326)可沿所述竖直轨道(328)进行升降移动。
8.根据权利要求7所述的玻片扫描机,其特征在于,所述放置凹槽(310)的侧边还设置有机械手让位槽(329),在机械手向所述放置凹槽(310)放置玻片或从所述放置凹槽(310)处取玻片时,所述机械手让位槽(329)为机械手提供操作空间。
9.根据权利要求8所述的玻片扫描机,其特征在于,所述机械手让位槽(329)为两个,两个所述机械手让位槽(329)之间还设置有玻片夹紧装置(330),在玻片放置在所述放置凹槽(310)中时所述玻片夹紧装置(330)用于对玻片进行夹紧。
10.根据权利要求9所述的玻片扫描机,其特征在于,所述玻片夹紧装置(330)为预紧力朝向所述放置凹槽(310)的弹性夹紧件。
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