[实用新型]一种可快速冷却的高温箱式电阻炉有效
申请号: | 202020015200.5 | 申请日: | 2020-01-03 |
公开(公告)号: | CN211626087U | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 谢斌;刘浩项;刘彬;刘永昌 | 申请(专利权)人: | 安徽晶谷周界微电子股份有限公司 |
主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;F27D9/00;F27D5/00;F27D7/06;F27D1/00 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 王桂名 |
地址: | 233000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 快速 冷却 高温 箱式 电阻炉 | ||
1.一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,包括箱体(1)、加热炉(2)、液压底座(3),其特征在于,所述加热炉(2)通过多个液压底座(3)固定在所述箱体(1)内部,所述加热炉(2)的一内侧壁安装有冷却氮气进气管道(4),所述冷却氮气进气管道(4)穿过所述箱体(1)的侧壁与外接氮源连接,在所述加热炉(2)的侧壁上沿其高度方向安装有与所述冷却氮气进气管道(4)相连通的冷却风管(5),在所述冷却风管(5)上开设有向所述加热炉(2)内部吹风的出风口(6);在所述加热炉(2)的顶部设置有贯穿所述箱体(1)的抽气口(7),所述加热炉(2)内部安装有加热电阻丝。
2.根据权利要求1所述的一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,其特征在于,所述冷却氮气进气管道(4)为双层进风管道,其外层管道与所述冷却风管(5)相连通,其内层管道的前端设置有进风口(8)。
3.根据权利要求1所述的一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,其特征在于,在所述加热炉(2)内部设置有两层可拆卸的载物台(9)。
4.根据权利要求3所述的一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,其特征在于,所述载物台(9)上开设有通气孔(901)。
5.根据权利要求3所述的一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,其特征在于,所述载物台(9)的两侧底部安装有滑轨(902),所述载物台(9)与所述滑轨(902)相卡接并可相对所述滑轨(902)移动。
6.根据权利要求1所述的一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,其特征在于,所述抽气口(7)外部连接有机械真空泵。
7.根据权利要求1所述的一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,其特征在于,在所述箱体(1)的底部安装有万向滚轮(10)。
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