[实用新型]一种可快速冷却的高温箱式电阻炉有效

专利信息
申请号: 202020015200.5 申请日: 2020-01-03
公开(公告)号: CN211626087U 公开(公告)日: 2020-10-02
发明(设计)人: 谢斌;刘浩项;刘彬;刘永昌 申请(专利权)人: 安徽晶谷周界微电子股份有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;F27D9/00;F27D5/00;F27D7/06;F27D1/00
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 王桂名
地址: 233000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 快速 冷却 高温 箱式 电阻炉
【权利要求书】:

1.一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,包括箱体(1)、加热炉(2)、液压底座(3),其特征在于,所述加热炉(2)通过多个液压底座(3)固定在所述箱体(1)内部,所述加热炉(2)的一内侧壁安装有冷却氮气进气管道(4),所述冷却氮气进气管道(4)穿过所述箱体(1)的侧壁与外接氮源连接,在所述加热炉(2)的侧壁上沿其高度方向安装有与所述冷却氮气进气管道(4)相连通的冷却风管(5),在所述冷却风管(5)上开设有向所述加热炉(2)内部吹风的出风口(6);在所述加热炉(2)的顶部设置有贯穿所述箱体(1)的抽气口(7),所述加热炉(2)内部安装有加热电阻丝。

2.根据权利要求1所述的一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,其特征在于,所述冷却氮气进气管道(4)为双层进风管道,其外层管道与所述冷却风管(5)相连通,其内层管道的前端设置有进风口(8)。

3.根据权利要求1所述的一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,其特征在于,在所述加热炉(2)内部设置有两层可拆卸的载物台(9)。

4.根据权利要求3所述的一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,其特征在于,所述载物台(9)上开设有通气孔(901)。

5.根据权利要求3所述的一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,其特征在于,所述载物台(9)的两侧底部安装有滑轨(902),所述载物台(9)与所述滑轨(902)相卡接并可相对所述滑轨(902)移动。

6.根据权利要求1所述的一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,其特征在于,所述抽气口(7)外部连接有机械真空泵。

7.根据权利要求1所述的一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,其特征在于,在所述箱体(1)的底部安装有万向滚轮(10)。

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