[实用新型]一种高精密多自由度定位平台

权利要求书

1.一种高精密多自由度定位平台，其特征在于，包括机架，所述机架上设有移动平台和控制移动平台沿X轴方向运动的X轴驱动模组，所述移动平台上设有旋转架和控制旋转架转动的X轴旋转驱动元件，所述旋转架上设有XXY对位平台和控制XXY对位平台旋转的Z轴旋转驱动元件，所述XXY对位平台上设有用于固定工件的载具装置。

2.根据权利要求1所述的一种高精密多自由度定位平台，其特征在于，所述X轴驱动模组包括X轴直线电机和设于X轴直线电机两侧的直线导轨，所述移动平台通过滑块与直线导轨连接,并可由X轴直线电机驱动沿直线导轨滑动。

3.根据权利要求1所述的一种高精密多自由度定位平台，其特征在于，所述X轴旋转驱动元件为X轴直驱伺服马达，所述移动平台的前端设有用于安装旋转架的支撑板，所述移动平台的后端设有用于安装X轴直驱伺服马达的安装座，所述旋转架的一端通过转轴与支撑板转动连接，所述旋转架的另一端与X轴直驱伺服马达的驱动轴连接，所述转轴与驱动轴的轴线重合。

4.根据权利要求1所述的一种高精密多自由度定位平台，其特征在于，所述XXY对位平台包括底板、设于底板上的定位板和控制定位板沿X轴、Y轴移动以及绕Z轴旋转的驱动组件，所述驱动组件包括三个伺服马达，三个所述伺服马达的输出端均连接有螺杆传动组件，所述螺杆传动组件连接有XY双向滑轨组件，所述定位板安装于XY双向滑轨组件上。

5.根据权利要求4所述的一种高精密多自由度定位平台，其特征在于，所述Z轴旋转驱动元件为Z轴直驱伺服马达,所述Z轴直驱伺服马达的输出端与底板连接。

6.根据权利要求4所述的一种高精密多自由度定位平台，其特征在于，所述载具装置包括托板，所述托板上设有的LED背光板和吸料板，所述LED背光板上设有LED发光光源，所述LED背光板上方设有透光板，所述吸料板上设有吸盘，所述托板通过支撑柱安装于定位板上。