[实用新型]一种气体管道的测试设备

说明书

本实用新型公开了一种气体管道的测试设备，属于检测设备技术领域。该气体管道的测试设备，用于对至少两个气体管道的测试，包括并联连接的抽真空单元、保压单元、检测单元和充气单元，其中，抽真空单元并列设置有多个第一通路，每个第一通路与对应的一个气体管道连接，用于相应气体管道的抽真空；保压单元并列设置有多个第二通路，每个第二通路与对应的一个气体管道连接，用于相应气体管道的保压；检测单元用于相应气体管道的气密性检测及水分、氧分及颗粒的检测；充气单元并列设置有多个第三通路，每个第三通路与对应的一个气体管道连接，用于向相应气体管道内充气。本实用新型提供的气体管道的测试设备，满足批量化生产需求，提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其涉及一种气体管道的测试设备。

背景技术

随着半导体行业的快速发展，对工艺气体输送设备管道的安全性及洁净度要求越来越高。半导体设备厂在特气输送管路组装完成后，需做气密性及水分、氧分、颗粒含量测试，为满足客户对设备管路的安全性及洁净度要求，工厂目前做法是对每台设备盘面的管路单独使用管件连接氦检仪器抽至负压，再使用氦气枪对管路VCR连接处及焊接处进行喷氦，每台设备盘面预计大约需要30分钟左右，氦检完成后单独对每台设备盘面管路进行正压保压24小时，再用高纯氮气持续吹扫两个小时后连接水分、氧分、颗粒分析仪，当水分、氧分和颗粒含量小于一定值时为合格。由于管路，阀件在布局中不可避免的存在一些支路和拐角，要把管道内水分、氧分、颗粒含量做到合格值的范围需要花费两到三天时间，测试效率低，无法满足大批量设备制造的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气体管道的测试设备，满足大批量设备制造的需求，提高工作效率。

为实现此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种气体管道的测试设备，用于对至少两个气体管道的测试，包括并联连接的：

抽真空单元，包括并列设置的多个第一通路，每个第一通路与对应的一个气体管道连接，用于相应气体管道的抽真空；

保压单元，包括并列设置的多个第二通路，每个第二通路与对应的一个气体管道连接，用于相应气体管道的保压；

检测单元，用于相应气体管道的气密性检测及水分、氧分及颗粒的检测；

充气单元，包括并列设置的多个第三通路，每个第三通路与对应的一个气体管道连接，用于向相应气体管道内充气。

可选地，

第一通路上设置有第一控制组件，第一控制组件用于控制抽真空单元与相应气体管道的通断；

第二通路上设置有第二控制组件，第二控制组件用于控制保压单元与相应气体管道的通断；

检测单元包括第三控制组件，第三控制组件用于控制检测单元与相应多个气体管道的通断；

第三通路上设置有第四控制组件，第四控制组件用于控制充气单元与相应气体管道的通断。

可选地，抽真空单元包括串联连接的真空泵和真空罐，真空罐与多个并联的第一通路连接，第一控制组件包括设置在各个第一通路上的抽真空控制阀。

可选地，气体管道的测试设备还包括多个压力传感器，每个压力传感器与一个气体管道连接并能选择性地检测与气体管道连通的第一通路、第二通路、检测单元或第三通路上的压力。

可选地，检测单元包括气密性检测组件，气密性检测组件用于对抽真空后的气体管道进行气密性检测。

可选地，气密性检测组件包括排放阀、与排放阀的入口连接且并列设置的多个第四通路、与排放阀的出口连接的氦检仪以及每个第四通路上均设置的气密控制阀。