[实用新型]一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备

说明书

本实用新型公开了一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备，包括机箱，所述机箱的一侧表面固定设置有语音交互控制模块，所述机箱的内部一侧固定设置有控制部，所述语音交互控制模块的下部位置固定设置有人机控制模块，所述机箱的正表面背离连接语音交互控制模块和人机控制模块的一侧转动连接有开关门，所述机箱的内部另一侧固定设置有陶瓷腔体，所述陶瓷腔体的内部一侧侧壁固定设置有变频发热单元，所述陶瓷腔体的内部后壁表面固定连接有撑板，所述撑板板身一侧中部位置固定连接有马达。本实用新型中，设语音交互控制模块和人机控制模块，实现语音智能控制作业，也实现人机控制作业，设多个托盘，减少蓝宝石堆积，底部设马达，实现对蓝宝石的均匀加热。

技术领域

本实用新型涉及退火设备领域，尤其涉及一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备。

背景技术

随着光电子领域对蓝宝石品质的质量要求越来越严，目前市场上2寸蓝宝石衬底片是主导，但随着技术的改进，4寸及更大尺寸的蓝宝石越来越受到专注，在开发4寸衬底片的过程中，按照2寸的工艺要求退火大尺寸晶片时，越来越多的难题暴露出来，因蓝宝石表面受热不均，退火后的蓝宝石翘曲不良问题尤为突出，严重的翘曲会在后道加工过程产生破片，影响整个加工循环的晶片质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备，包括机箱，所述机箱的一侧表面固定设置有语音交互控制模块，所述机箱的内部一侧固定设置有控制部，所述语音交互控制模块的下部位置固定设置有人机控制模块，所述机箱的正表面背离连接语音交互控制模块和人机控制模块的一侧转动连接有开关门，所述机箱的内部另一侧固定设置有陶瓷腔体，所述陶瓷腔体的内部一侧侧壁固定设置有变频发热单元，所述陶瓷腔体的内部后壁表面固定连接有撑板，所述撑板板身一侧中部位置固定连接有马达，所述马达的制动端固定向上设置，所述撑板的上方转动设置有托盘，且托盘底表面中部位置固定与马达的制动端连接，所述陶瓷腔体的内部上表面一侧固定连接有温度传感器。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述机箱内部设置陶瓷腔体的下部位置固定设置有制动部，所述制动部的内部一侧固定设置有真空泵，所述制动部的另一侧固定设置有氮气罐，所述真空泵的制动端固定连接有抽气管，所述氮气罐的制动端固定连接有进气管，且抽气管和进气管均贯穿陶瓷腔体的底表面。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述撑板固定设置为矩形板，所述马达的上部外表面固定卡合连接在撑板的板身中部，所述马达的中心位置到陶瓷腔体后部壁身距离小于托盘的盘径。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述变频发热单元在陶瓷腔体的内部左右侧壁固定设置有两个，且变频发热单元固定设置为硅钼棒，所述托盘固定设置为圆盘，且托盘的直径设置小于两个变频发热单元之间的距离。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述撑板在陶瓷腔体的后侧壁自上而下等距设置有三个，三个所述撑板的板身连接结构设置为相同。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述温度传感器在陶瓷腔体的内部上表面两侧固定设置有两个，且温度传感器型号为PT100。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型结构表面设置有语音交互控制模块和人机控制模块，既可以实现语音智能控制作业，也可以实现人机控制作业，增加控制方式多样性，也可以面对不同状况实现备用控制的功能。

2、本实用新型结构内部设置有多个托盘，可以减少蓝宝石的堆积，底部设置有转动马达，从而实现对蓝宝石的均匀加热作业。