[实用新型]一种贴片式MEMS输电导线监测传感器有效
| 申请号： | 202020023213.7 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN211954508U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 包艳艳;温定筠;刘康;张广东;郭陆;王津;彭鹏;高立超 | 申请（专利权）人： | 国网甘肃省电力公司电力科学研究院;国家电网有限公司;国网甘肃省电力公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L25/00 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 王欢 |
| 地址： | 730000 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 贴片式 mems 输电 导线 监测 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种贴片式MEMS输电导线监测传感器,包括玻璃基底、焊盘、压敏电阻和硅薄膜，其特征在于：所述硅薄膜上设置有一个压敏电阻和两个焊盘，所述焊盘对称安装于压敏电阻的两侧。
2.根据权利要求1所述的一种贴片式MEMS输电导线监测传感器，其特征在于：所述硅薄膜形状选为方形。
3.根据权利要求1所述的一种贴片式MEMS输电导线监测传感器，其特征在于：所述压敏电阻的拐角处区域加宽，并重掺杂，为重掺杂区。
4.根据权利要求1所述的一种贴片式MEMS输电导线监测传感器，其特征在于：所述硅薄膜的边缘增加过渡区域，所述过渡区域使用离子注入代替浓硼扩散实现电连接。
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