[实用新型]一种真空阀门

说明书

本实用新型涉及半导体生产制造技术领域，特别涉及一种真空阀门，包括门板部，传动部和支架部。门板部包括门板、门板固定杆、门板固定连接块和门板轴杆连接件。传动部包括所述传动部包括传动轴、传动轴套筒、支架套筒、升降滑轨、弹性部件、连接凸轮、连接凸轮连接件和气缸。支架部包括整体气动支架、气缸支架，所述气缸支架还包括气缸侧边支架、气缸U型支架和气缸上端支架。整个传动部安装在支架部上，传动部的上端和门板部固定连接。本实用新型结构简易，维修方便，不易产生污染。发生故障时可以锁定装置，保护产品和人身安全。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产制造技术领域，特别涉及一种真空阀门。

背景技术

随着半导体技术的飞速发展和器件关键尺寸的缩小，半导体晶圆对于污染越发敏感，污染物会造成晶圆的缺陷，降低良品率，增加制造成本。因此，半导体的制造过程中，对于生产设备的要求也越来越高，现有晶圆制造设备的真空阀门结构较为复杂，易于损耗，维护成本过高。且真空阀门的密封条会与真空设备摩擦，产生污染，易于损耗。设备发生故障时，对晶圆保护不足。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种真空阀门。

实现本实用新型目的的技术方案是：

一种真空阀门，包括门板部、传动部和支架部，其特征在于：所述传动部内还包括一个连接凸轮，所述传动部安装在所述支架部上，所述门板部安装在传动部上端。所述门板部包括门板、门板固定杆、门板固定连接块和门板轴杆连接件，所述传动部包括所述传动部包括传动轴、传动轴套筒、支架套筒、升降滑轨、弹性元件、连接凸轮、连接凸轮连接件和气缸，所述支架部包括整体气动支架、气缸支架，所述气缸支架还包括气缸侧边支架、气缸U形支架和气缸上端支架，所述门板固定杆两端的圆柱杆插入两个所述门板固定连接块，所述门板固定连接块通过螺栓固定在所述门板上，所述传动轴的上端通过所述门板轴杆连接件与所述门板固定杆固定连接，所述传动轴套筒和所述的支架套筒依次套在传动轴上，所述传动轴底端与所述连接凸轮第一端可连接，所述传动轴底端外侧通过所述弹性元件与所述连接凸轮连接件的一端和所述升降滑轨的中部连接，所述连接凸轮连接件的另一端与所述连接凸轮的第二端连接，所述连接凸轮的第三端与所述气缸连接，所述升降滑轨安装在所述整体气动支架上，所述气缸的上端安装有气缸上端支架，所述气缸上端支架的两侧与所述气缸侧边支架的一端和气缸U形支架连接，所述气缸侧边的另一端与所述整体气动支架固定连接。

优选的，所述门板闭合那面具有环绕门板一圈的凹槽，所述凹槽内设有密封条。

优选的，所述门板固定杆两端的圆柱杆上套有活动胶圈。

优选的，所述传动轴为“L”形。

优选的，所述整体气动支架的顶端伸出一个平台，平台中有一圆形通孔，所述支架套筒穿过所述通孔。

优选的，所述弹性元件为弹簧。

优选的，所述气缸为自锁式升降气缸。

采用上述技术方案后，本实用新型具有以下积极的效果：

(1)本实用新型结构较为简单，不易于损耗，零部件更换容易，维护成本低。

(2)本实用新型门板密封条与设备没有摩擦，不容易产生灰尘与细小颗粒，提高了晶圆成品率。

(3)本实用新型采用自锁式升降气缸，设备故障时可以更好地保护晶圆。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型的等轴侧视图；

图2为本实用新型的门板剖视图；