[实用新型]一种二次电子发射性能参数测试装置

权利要求书

1.一种二次电子发射性能参数测试装置，其特征在于，包括

电子束产生系统，通过法兰接口与真空室连接，包括真空室内的电子枪及真空室外的电子枪控制器；

球形电子收集器，包括三种彼此绝缘的球形结构，由外向内依次是：球形收集极、球形抑制极和球形接地极；球形电子收集器固定在真空室内的电子收集器固定装置上，其上方开孔作为入射电子孔，电子枪口由该入射电子孔进入球形电子收集器内部，球形电子收集器的下方开孔作为样品台进出孔；

微弱信号测量系统，包括分别与球形收集极、球形抑制极、球形接地极和样品台连接的电流计或电流-电压放大器，用于采集球形收集极、球形抑制极、球形接地极和样品台的电流；

样品台升降旋转装置，包括安装在真空室外的磁流体控制器、真空室内的螺杆传动机构及与之连接的齿轮旋转机构，样品台与齿轮旋转机构连接，样品台从球形电子收集器下方开孔处进入其内部；磁流体控制器通过螺杆传动机构及与之连接的齿轮旋转机构驱动样品台上下移动及旋转；样品台一面用于放置待测样品，另一面上固定一次电子收集器；

样品表面电位中和系统，包括表面电位检测装置、消除表面带正电位装置和消除表面带负电位装置。

2.如权利要求1所述的二次电子发射性能参数测试装置，其特征在于，所述球形抑制极由开孔率为70％～98％的不锈钢网制作而成；所述球形接地极由开孔率为70％～98％的不锈钢网制作而成。

3.如权利要求1所述的二次电子发射性能参数测试装置，其特征在于，所述电子收集器固定装置中间开孔，用于样品台上下移动通过；所述电子收集器固定装置上有三个圆环槽，用于分别固定球形收集极、球形抑制极和球形接地极；所述圆环槽底部均开有小孔，用于与球形收集极、球形抑制极和球形接地极连接的导线穿过。

4.如权利要求1所述的二次电子发射性能参数测试装置，其特征在于，所述一次电子收集器是采用倒锥形结构的法拉第杯。

5.如权利要求1所述的二次电子发射性能参数测试装置，其特征在于，所述球形收集极被若干个条带状陶瓷环隔离，形成多个环形收集极，各环形收集极之间相互绝缘；所述微弱信号测量系统分别通过一电流计或电流-电压放大器与每一环形收集极连接，用于采集每一环形收集极的电流。