[实用新型]用于抛光盘裙边止动机构

说明书

本实用新型提供了一种用于抛光盘裙边止动机构，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本用于抛光盘裙边止动机构包括呈环形的裙边，所述裙边呈圆筒状，上述本体位于裙边内且本体固连在裙边的上端口处，所述裙边下部形成用于阻挡抛光盘处抛光液的阻挡部。本用于抛光盘裙边止动机构稳定性高。

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种用于抛光盘裙边止动机构。

背景技术

目前单晶硅片的表面抛光基本原理是将待抛光工件在一定的压力下及有抛光液存在的情况下，与抛光垫一起作旋转运动，借助磨粒的机械磨削及化学氧化剂的腐蚀作用，完成对工件表面抛光。

在抛光时抛光液因抛光垫旋转四处飞溅，抛光盘内部的防水密封就显得尤为重要。

其中市面上的抛光盘外侧通常安装裙边进行密封，但存在着裙边不易拆卸、易松动的问题。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的上述问题，提供一种稳定性高其结构紧凑的用于抛光盘裙边止动机构。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：

一种用于抛光盘裙边止动机构，抛光盘包括呈圆盘状的本体，其特征在于，本机构包括呈环形的裙边，所述裙边呈圆筒状，上述本体位于裙边内且本体固连在裙边的上端口处，所述裙边下部形成用于阻挡抛光盘处抛光液的阻挡部。

抛光时抛光液四处飞溅，本机构用于阻挡飞溅的抛光液。

具体而言，裙边从侧边固锁于本体，裙边与本体间没有缝隙，有效防止抛光液进入抛光设备内部。

在上述的用于抛光盘裙边止动机构中，所述裙边截面呈直线状。

在上述的用于抛光盘裙边止动机构中，所述裙边下端口处具有加固结构。

在上述的用于抛光盘裙边止动机构中，所述加固结构为圆筒状的加固环，上述加固环固连在裙边下端口处。

在上述的用于抛光盘裙边止动机构中，所述加固环下端与裙边下端相平齐。

通过加固环能有效提高裙边下端处强度。

同时，加固环与裙边下端平齐还能适当提高其结构紧凑性。

与现有技术相比，本用于抛光盘裙边止动机构由于通过裙边将抛光盘罩在其内，因此，抛光液受到裙边阻挡无法飞溅出抛光盘，有效的提高了其稳定性。

同时，本体固连在裙边内侧，其结构还比较紧凑，具有很高的实用价值。

附图说明

图1是本用于抛光盘裙边止动机构的剖视结构示意图。

图中，1、本体；2、裙边；3、加固环。

具体实施方式

如图1所示，抛光盘包括呈圆盘状的本体1。

本用于抛光盘裙边止动机构包括呈环形的裙边2，所述裙边2呈圆筒状，上述本体1位于裙边2内且本体1固连在裙边2的上端口处，所述裙边2下部形成用于阻挡抛光盘处抛光液的阻挡部。

所述裙边2截面呈直线状。

所述裙边2下端口处具有加固结构。

所述加固结构为圆筒状的加固环3，上述加固环3固连在裙边2下端口处。

所述加固环3下端与裙边2下端相平齐。

抛光时抛光液四处飞溅，本机构用于阻挡飞溅的抛光液。

具体而言，裙边从侧边固锁于本体，裙边与本体间没有缝隙，有效防止抛光液进入抛光设备内部。