[实用新型]一种湿法处理设备气密性安装结构

说明书

本实用新型公开了一种湿法处理设备气密性安装结构，包括风机过滤单元、排气机构、阻挡片、设备区段隔离门及机械手臂隔离板，所述湿法处理设备包括并列设置的多个工艺区段，每个所述工艺区段的顶部均设置有用于安装所述风机过滤单元的安装口，所述安装口为矩形且于4个角点位置设置有L形阻挡片，所述风机过滤单元的底部设置有与所述L形阻挡片相匹配的卡合槽，所述风机过滤单元的出风口与所述工艺区段连通，所述机械手臂隔离板沿所述湿法处理设备的长度方向设置，所述排气机构安装于所述工艺区段的底部。本实用新型在湿法处理设备的安装口处设置有L形阻挡片，与风机过滤单元底部的卡合槽相匹配，保证了风机过滤单元安装的气密性。

技术领域

本实用新型属于湿法处理工艺技术领域，具体涉及一种湿法处理设备气密性安装结构。

背景技术

在半导体湿法工艺的配置上，对于各个工艺区段的洁净度及气密性要求较高，风机过滤单元是维持湿法工艺设备运作的一个重要环节。在晶圆承载区域、湿法工艺区域、晶圆干燥区域及晶圆卸载区域均需要配置风机过滤单元，通过风机过滤单元与排气机构配合，使整体的每个工艺区段处于良好的气体环境。晶圆清洗的过程中，需要借助机械手臂带动晶圆盒在各个工艺区段内移动，这就需要保证各个工艺区段在局部是需要连通的，而各个工艺区段内又需要保持一个相对隔离的环境，避免气体的交叉污染，因此，湿法处理设备内各区段的气密性控制是湿法处理工艺中的一个重要环节。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种湿法处理设备气密性安装结构，本实用新型能够实现风机过滤单元的嵌合式安装，气体在工艺区段具有单一的运动路径，在保证机械手臂能够在各个工艺区段移动的前提下，避免了各个工艺区段内气体的交叉污染。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种湿法处理设备气密性安装结构，包括风机过滤单元、排气机构、阻挡片、设备区段隔离门及机械手臂隔离板，所述湿法处理设备包括并列设置的多个工艺区段，每个所述工艺区段的顶部均设置有用于安装所述风机过滤单元的安装口，所述安装口为矩形且于4个角点位置设置有L形阻挡片，所述风机过滤单元的底部设置有与所述L形阻挡片相匹配的卡合槽，所述风机过滤单元的出风口与所述工艺区段连通，所述机械手臂隔离板沿所述湿法处理设备的长度方向设置，将各个工艺区段分割形成机械手臂安装腔及湿法工艺腔，所述机械手臂安装腔的顶部与所述湿法工艺腔的顶部连通，各个所述工艺区段的机械手臂安装腔连通，相邻的所述湿法工艺腔通过设备区段隔离门连通或隔离，所述排气机构安装于所述湿法工艺腔的底部。

作为优选的技术方案，所述排气机构包括排气风机用于持续抽气。

作为优选的技术方案，所述设备区段隔离门包括安装底座、固定在安装底座上的侧向安装板、推动机构、挡门、以及挡门支撑臂，所述推动机构包括滑轨和推动气缸，所述滑轨固定在侧向安装板上，推动气缸通过锁紧组件活动设置在滑轨上，所述挡门支撑臂的一端通过夹持组件与推动气缸上的锁紧组件相连、另一端固定在挡门上。

作为优选的技术方案，所述安装底座的边沿内侧设有第一沟槽，所述侧向安装板嵌装在第一沟槽内并通过辅助支撑座与安装底座锁紧固定，所述第一沟槽沿安装底座的长度方向设置。

作为优选的技术方案，所述辅助支撑座为L型结构，辅助支撑座的水平段和竖直段上均开设有安装孔，辅助支撑座的水平段通过紧固件固定在安装底座上、竖直段通过紧固件固定在侧向安装板上，辅助支撑座的水平段和竖直段的连接处固定有加强板。

作为优选的技术方案，所述锁紧组件包括滑块、固定块、连接板和第一安装板，所述滑块卡在滑轨上，固定块安装在推动气缸上，连接板的下部通过紧固件与固定块相连，连接板的上部通过紧固件与滑块相连，第一安装板焊接固定在连接板的侧面，所述夹持组件通过紧固件固定在第一安装板的上端面上。