[实用新型]一种真空电镀治具

权利要求书

1.一种真空电镀治具，包括真空电镀仓(1)，其特征在于：所述真空电镀仓(1)的内部设置有转盘(2)，所述转盘(2)的表面设置有真空电镀治具，所述真空电镀治具包括立杆(3)、连接套(4)、定位杆(5)和弹力支座(6)，所述立杆(3)插接于转盘(2)的表面，所述立杆(3)的表面套接有连接套(4)，所述连接套(4)的表面开设有定位孔(7)，所述定位孔(7)的内部表面插接有定位杆(5)，所述定位杆(5)的一侧固定安装有若干弹力支座(6)。

2.根据权利要求1所述的一种真空电镀治具，其特征在于：所述真空电镀仓(1)的一侧通过铰链活动连接有仓盖(8)。

3.根据权利要求1所述的一种真空电镀治具，其特征在于：所述真空电镀仓(1)的内部设置有靶材支架(9)。

4.根据权利要求1所述的一种真空电镀治具，其特征在于：所述连接套(4)包括套设在所述立杆(3)上的中心套管(401)和边楞(402)，所述边楞(402)的数量为八个，八个所述边楞(402)以所述中心套管(401)为圆心呈环形陈列，且八个所述边楞(402)和所述中心套管(401)为一体设计。

5.根据权利要求4所述的一种真空电镀治具，其特征在于：所述定位孔(7)设置于所述边楞(402)的表面，且每个所述边楞(402)的表面均设置有两个定位孔(7)。

6.根据权利要求1所述的一种真空电镀治具，其特征在于：所述定位孔(7)的形状为八角梅花形，所述定位杆(5)横截面的形状为正方形。