[实用新型]一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统有效
| 申请号： | 202020035807.X | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN211318990U | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 张浩为;卫国;魏云飞 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 台面 激光 曝光 真空 吸附 控制系统 | ||
1.一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统，其特征在于：包括鼓风机、控制电路、电磁阀一和电磁阀二；
所述控制电路包括交流接触器、热继电器、继电器、自锁式按钮KEY1和自锁式按钮KEY2；所述交流接触器，其进电端1L1、3L2和5L3分别接三相电，其线圈A1接其进电端L2，其线圈A2接热继电器的常闭触点96脚，其常开触点13脚接24V电源，其常闭触点95脚接继电器的常开触点5脚，其常开触点98脚接24V电源；
所述热继电器，其引脚U、V、W与鼓风机的进电端相连；
所述继电器，其常开触点3脚接交流接触器的进电端L3，其7脚接地；
所述自锁式按钮KEY1和自锁式按钮KEY2串行连接后，一端接24V电源，另一端分别接继电器的8脚、电磁阀一的控制端、电磁阀二的控制端；
所述鼓风机的出气口分别与电磁阀一的进气口、电磁阀二的进气口相连，电磁阀一的出气口接曝光A台面的进气口，电磁阀二的出气口接曝光B台面的进气口。
2.根据权利要求1所述的一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统，其特征在于：所述交流接触器的常开触点97脚接报警装置。
3.根据权利要求1所述的一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统，其特征在于：所述曝光A台面和曝光B台面均包括依次设置的吸盘和吸盘垫。
4.根据权利要求1所述的一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统，其特征在于：所述鼓风机的出气口通过气路一接曝光A台面的进气口，所述电磁阀一安装在气路一上；所述鼓风机的出气口还通过气路二接曝光B台面的进气口，所述电磁阀二安装在气路二上；所述气路一通过气路转接阀一与曝光A台面的进气口相连；所述气路二通过气路转接阀二与曝光B台面的进气口相连。
5.根据权利要求1所述的一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统，其特征在于：所述交流接触器的型号为施耐德LCID32。
6.根据权利要求1所述的一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统，其特征在于：所述热继电器的型号为施耐德LRD14C。
7.根据权利要求1所述的一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统，其特征在于：所述继电器的信号为施耐德LY2N-J。
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