[实用新型]一种研磨液加湿系统有效
| 申请号： | 202020037490.3 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN211540870U | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 罗保兴 | 申请（专利权）人： | 上海吉啸电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人： | 于刚 |
| 地址： | 201499 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 加湿 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨液加湿系统，其特征在于，包括研磨液桶（3），在所述研磨液桶（3）上安装一个加湿系统，所述加湿系统包括加湿器装置（2）、N2供气装置（5）和DIW供液装置（1），所述研磨液桶（3）和所述加湿器装置（2）均DRAIN废液排出装置（4）连接；所述DIW供液装置（1）和N2供气装置（5）均与所述加湿器装置（2）连接；所述加湿器装置（2）与研磨液桶（3）连接。
2.根据权利要求1所述的研磨液加湿系统，其特征在于，所述DIW供液装置（1）以手动阀或气动阀作为开关，为所述加湿器装置（2）提供纯水。
3.根据权利要求2所述的研磨液加湿系统，其特征在于，所述N2供气装置（5）为所述加湿器装置（2）提供N2。
4.根据权利要求3所述的研磨液加湿系统，其特征在于，打开与加湿器装置（2）连接的DIW供液装置（1）的气动阀或手动阀和N2供气装置（5）的手动阀，纯水和N2进入所述加湿器装置（2）中，形成水雾进入与加湿器装置（2）连接的研磨液桶（3）内。
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