[实用新型]一种引出窗密封结构装置有效

专利信息
申请号: 202020048467.4 申请日: 2020-01-10
公开(公告)号: CN211297114U 公开(公告)日: 2020-08-18
发明(设计)人: 曹娟;程永波;黄伟 申请(专利权)人: 江苏久瑞高能电子有限公司
主分类号: H05H7/10 分类号: H05H7/10
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 引出 密封 结构 装置
【说明书】:

实用新型涉及一种引出窗密封结构装置,包括引出窗法兰和钛膜密封压板,所述引出窗法兰位于钛膜密封压板上部,所述引出窗法兰中部的射线槽与钛膜密封压板中部的中心槽的上下位置相对应,钛膜位于引出窗法兰和钛膜密封压板之间;所述引出窗法兰的底端设置有密封板,所述钛膜密封压板的顶端设置有钛膜垫板,所述钛膜的上端面和下端面分别与密封板和钛膜垫板相接触;所述引出窗法兰的底端面上设置有凹槽,所述密封板的顶端面上设置有凸起部,所述凸起部与凹槽相配合;所述钛膜密封压板上设置有缺口。本实用新型对引出窗底部的密封结构进行改进,增强密封性能,避免钛膜密封压板受热变形造成钛膜受影响和射线泄漏,同时降低加工成本。

技术领域

本实用新型涉及电子加速器相关领域,具体涉及一种引出窗密封结构装置。

背景技术

电子加速器所使用的钛膜通常位于电子加速器的引出窗的引出面。

现有设备大多都是钛膜密封压板与钛膜直接接触。由于设备在正常工作状态中引出窗法兰和钛膜压板都会产生热量,使其热涨冷缩,发生细微的形变,由于钛膜紧贴着其表面,使钛膜拉伸变形,由于低能电子加速器中使用的钛膜厚度一般在几μm-30μm,强度极低,易破损,目前钛膜使用寿命一般在2000小时左右,更换周期长,成本高。

目前为了延长钛膜使用寿命,需要保证引出窗法兰引出面和钛膜密封压板配合面的表面粗糙度(8-10K等级镜面),因此对引出窗法兰和钛膜压板的加工精度要求较高,造成加工成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的是:提供一种引出窗密封结构装置,对引出窗底部的密封结构进行改进,增强密封性能,同时改进钛膜密封压板,避免钛膜密封压板受热膨胀造成钛膜破损,增强引出窗密封性能,同时降低加工成本,延长钛膜使用寿命至6000小时以上。

为了实现上述目的,本实用新型提供如下的技术方案:

一种引出窗密封结构装置,包括引出窗法兰和钛膜密封压板,所述引出窗法兰位于钛膜密封压板上部,所述引出窗法兰中部的射线槽与钛膜密封压板中部的中心槽的上下位置相对应,钛膜位于引出窗法兰和钛膜密封压板之间;所述引出窗法兰的底端设置有密封板,所述钛膜密封压板的顶端设置有钛膜垫板,所述钛膜的上端面和下端面分别与密封板和钛膜垫板相接触;所述引出窗法兰的底端面上设置有凹槽,所述密封板的顶端面上设置有凸起部,所述凸起部与凹槽相配合;所述钛膜密封压板上设置有缺口。

进一步的,所述凹槽的横截面形状呈V形,所述凹槽位于射线槽的两侧,所述凸起部与凹槽的位置相对应并且形状相配合。

进一步的,所述密封板与钛膜垫板的中部均设置有通槽并且通槽的轮廓与中心槽的轮廓相同。

进一步的,所述缺口具体位于钛膜密封压板的底端面,所述缺口沿钛膜密封压板的长度方向呈直线阵列状布置。

本实用新型的有益效果为:一种引出窗密封结构装置,对引出窗底部的密封结构进行改进,增设密封板,增强密封性能,同时改进钛膜密封压板,在钛膜密封压板底端均匀开设缺口,在以应对热胀冷缩,避免钛膜密封压板受热膨胀造成钛膜破损,增强引出窗密封性能,同时降低加工成本,延长钛膜使用寿命至6000小时以上,同时由于增设了密封板,引出窗法兰不再与钛膜接触,因此引出窗法兰的加工精度要求降低,有利于降低加工成本。

附图说明

图1为本实用新型一种引出窗密封结构装置的剖面示意图。

图2为图1所示结构的部分结构示意图。

图中:1、引出窗法兰;11、凹槽;12、射线槽;2、密封板;21、凸起部;3、钛膜;4、钛膜垫板;5、钛膜密封压板;51、缺口;52、中心槽。

具体实施方式

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