[实用新型]一种固晶单头双摆臂有效
申请号: | 202020058481.2 | 申请日: | 2020-01-13 |
公开(公告)号: | CN212461605U | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 黎仕萍 | 申请(专利权)人: | 黎仕萍 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
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地址: | 516300 广东省惠州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 固晶单头双摆臂 | ||
1.一种固晶单头双摆臂,其特征在于,所述固晶单头双摆臂包括底座(1)、底座(1)上端的工作平台(2),所述底座(1)底部固定有支撑杆(3),所述支撑杆(3)远离底座(1)端固定有垫板(4),支撑杆(3)沿底座(1)底部四个拐角设置,所述工作平台(2)上端固定有外罩(5),所述外罩(5)上端固定有固定板(6),所述外罩(5)内部设有晶元平台(7),所述晶元平台(7)上端固定有视觉系统(8),所述视觉系统(8)关于所述工作平台(2)中部对称设有两个,两个所述视觉系统(8)中间设有固定在所述固定板(6)上的顶针模组(9),所述顶针模组(9)底部设有固晶臂(10),所述固晶臂(10)设有两个,所述固定板(6)上端固定有控制系统(11),所述工作平台(2)上还设有料带传送模块(12)。
2.如权利要求1所述固晶单头双摆臂,其特征在于,所述控制系统(11)一侧设有显示屏(13),所述显示屏(13)固定在所述固定板(6)上端。
3.如权利要求1所述固晶单头双摆臂,其特征在于,所述顶针模组(9)上端固定有电机(14),所述电机(14)传动连接至所述固晶臂(10)。
4.如权利要求3所述固晶单头双摆臂,其特征在于,所述顶针模组(9)底部转动连接有连接杆(15),所述连接杆(15)上端连接至所述电机(14)输出端,所述连接杆(15)底部固定有卡接头(16),所述卡接头(16)关于连接杆(15)中部对称开设有两个卡槽(17),所述卡槽(17)内部卡接连接所述固晶臂(10)。
5.如权利要求1所述固晶单头双摆臂,其特征在于,所述工作平台(2)采用大理石制作。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造