[实用新型]一种硅片加工用匀胶机

说明书

本实用新型公开了一种硅片加工用匀胶机，包括底座，所述底座的顶部设置有圆柱形腔体，所述圆柱形腔体内部的中心位置处设置有电机，且圆柱形腔体内侧顶端沿其圆周方向设置有环形齿，所述电机的输出端固定连接有旋转板，所述旋转板的一侧通过轴承设置有旋转杆，所述旋转杆底端延伸至环形齿内侧固定连接有齿轮。本实用新型电机带动旋转盘转动，而胶瓶随着旋转盘在水平方向发生转动，使得胶瓶内部的二甲苯稀释剂光刻胶进行混合，且由于胶瓶固定柱底部的旋转杆齿轮与环形齿相互啮合，进而使得旋转杆带动胶瓶固定柱发生转动，从而使得胶瓶自身发生转动，提高了二甲苯稀释剂光刻胶混合效率，同时本实用新型结构简单，制作成本低。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料加工技术领域，具体的涉及一种硅片加工用匀胶机。

背景技术

硅片加工中，需要将光刻胶涂布在硅片上，以满足硅片曝光的需要，该光刻胶为从厂家购买的成品负性光刻胶加二甲苯稀释剂进行调稀而成。现有技术中，稀释剂添加至光刻胶内、并搅拌均匀的操作由人工进行，但该操作方式具有工人劳动量大、混合时间长、混合均匀程度差的缺点。

国家知识产权局2016年5月4日授权了一件名为“一种硅片加工用匀胶机”的实用新型专利，其申请号：201520933669.6，该专利通过主动匀胶辊通过摩擦力带动胶瓶转动，多次旋转后稀释剂与光刻胶混合均匀，但是在实际使用时，胶瓶容易在主动匀胶辊与从动匀胶辊之间移动，胶瓶仅仅通过转动进行使稀释剂与光刻胶进行混合，其混合效果差，效率低。

实用新型内容

1.要解决的技术问题

本实用新型的目的在于提供一种硅片加工用匀胶机，以解决上述背景技术中提出的问题。

2.技术方案

为解决上述问题，本实用新型采取如下技术方案：

一种硅片加工用匀胶机，包括底座，所述底座的顶部设置有圆柱形腔体，所述圆柱形腔体内部的中心位置处设置有电机，且圆柱形腔体内侧顶端沿其圆周方向设置有环形齿，所述电机的输出端固定连接有旋转板，所述旋转板的一侧通过轴承设置有旋转杆，所述旋转杆底端延伸至环形齿内侧固定连接有齿轮，所述齿轮与环形齿相互啮合，所述旋转杆的顶端固定连接有胶瓶固定柱，所述胶瓶固定柱一侧的旋转板顶部垂直设置有横板，所述胶瓶固定柱外侧的顶端通过轴承设置有顶板，且顶板的一侧与横板侧壁固定连接，所述顶板下方的胶瓶固定柱内部设置有胶瓶固定腔。

优选的，所述胶瓶固定腔一侧的胶瓶固定柱上设置有盖体。

优选的，所述电机的输出端与旋转板的圆心处固定连接。

优选的，所述底座外侧设置有用于控制电机开启和关闭的开关。

3.有益效果

本实用新型通过在电机的输出端固定连接旋转板，旋转板的一侧通过轴承设置旋转杆，旋转杆底端延伸至环形齿内侧固定连接齿轮，齿轮与环形齿相互啮合，旋转杆的顶端固定连接有胶瓶固定柱，胶瓶固定柱一侧的旋转板顶部垂直设置横板，胶瓶固定柱外侧的顶端通过轴承设置顶板，且顶板的一侧与横板侧壁固定连接，顶板下方的胶瓶固定柱内部设置胶瓶固定腔，且胶瓶固定腔一侧的胶瓶固定柱上设置盖体，应用时，将二甲苯稀释剂添加至盛放光刻胶的胶瓶内，并将胶瓶放置在胶瓶固定腔内部盖上盖体，启动电机，电机的输出端带动旋转板转动使得胶瓶固定腔在随着旋转板进行转动，进而使得胶瓶随着旋转盘在水平方向发生转动，使得胶瓶内部的二甲苯稀释剂光刻胶进行混合，且由于胶瓶固定柱底部的旋转杆齿轮与环形齿相互啮合，进而使得旋转杆带动胶瓶固定柱发生转动，从而使得胶瓶自身发生转动，提高了二甲苯稀释剂光刻胶混合效率，同时本实用新型结构简单，制作成本低。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的正视结构示意图；