[实用新型]一种直拉单晶硅炉用组合式加热器

权利要求书

1.一种直拉单晶硅炉用组合式加热器，其特征在于：包括上环（1）、下环（2）、加热条（3）、引电板（4）、垫片（5）、紧固螺钉（6）六个部分，所述上环（1）和下环（2）上的条形槽内有两个M8 的螺纹孔，所述上环（1）和下环（2）内部的条形槽内分别卡接有加热条（3），通过紧固螺钉（6）将加热条（3）两端锁紧在上环（1）和下环（2）内部的条形槽，条形槽内设置有垫片（5），所述下环（2）外侧对称设置有两组引电板（4）。

2.根据权利要求1 所述的一种直拉单晶硅炉用组合式加热器，其特征在于：所述上环（1）为圆环结构，且外壁有20~40 个条型槽，外径500~1000mm，壁厚15~25 ㎜，高度25~40mm，电阻率为8~11μΩ·m。

3.根据权利要求1 所述的一种直拉单晶硅炉用组合式加热器，其特征在于：所述下环（2）为圆环结构，且外壁有20~40 个条型槽，外径500~1000mm，壁厚15~25 ㎜，高度25~40mm，电阻率为8~11μΩ·m。

4.根据权利要求1 所述的一种直拉单晶硅炉用组合式加热器，其特征在于：所述加热条（3）两头各有两个φ8 的通孔，电阻率为18~30μΩ·m。

5.根据权利要求1 所述的一种直拉单晶硅炉用组合式加热器，其特征在于：所述加热条（3）的数量与上环（1）和下环（2）内的条形槽数量相同。

6.根据权利要求1 所述的一种直拉单晶硅炉用组合式加热器，其特征在于：所述引电板（4）为L 型结构块，厚度为10~15mm，宽度为30~50mm，电阻率为8~11μΩ·m，两组所述引电板（4）之间的电阻为23 mΩ。

7.根据权利要求1 所述的一种直拉单晶硅炉用组合式加热器，其特征在于：所述垫片（5）是采用等静压石墨加工而成的，拉伸强度为150~200MPa。

8.根据权利要求1 所述的一种直拉单晶硅炉用组合式加热器，其特征在于：所述加热条（3）设置有条形加热条（7）或S 型加热条（8），所述条形加热条（7）和S 型加热条（8）数量为20~40 片，长度为200~600mm，宽度为30~50mm，厚度为5~15mm。