[实用新型]一种蒸镀坩埚及装置

权利要求书

1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体、坩埚上盖；所述坩埚本体为具有开口的中空结构，且所述坩埚上盖设置于所述坩埚本体上；

所述坩埚上盖还包括有出料口，出料口中空且与坩埚本体内部连通，所述出料口可活动的设置于所述坩埚上盖上，出料口活动时使得出料口与坩埚上盖的夹角发生变化。

2.根据权利要求1所述一种蒸镀坩埚，其特征在于，还包括：限位装置；所述限位装置设置于所述坩埚上盖上，用于固定出料口保持出料口与坩埚上盖的夹角不变。

3.根据权利要求2所述一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述限位装置通过磁吸方式设置于所述坩埚上盖上。

4.根据权利要求1所述一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述出料口与坩埚上盖通过球形可活动机构相连接；

所述球形可活动机构嵌设于所述坩埚上盖上，且所述出料口贯穿设置于球形可活动机构上。

5.根据权利要求4所述一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述球形可活动机构半径为R，所述球形可活动机构超出坩埚上盖的上、下两部分高度分别为L1、L2，且0.2R≤L1≤0.6R，0.2R≤L2≤0.6R。

6.根据权利要求1所述一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚上盖朝一侧倾斜。

7.一种蒸镀坩埚装置，其特征在于，包括多个权利要求1至6所述蒸镀坩埚。

8.根据权利要求7所述一种蒸镀坩埚装置，其特征在于，所述一种蒸镀坩埚装置包括三个所述蒸镀坩埚；

位于中间的蒸镀坩埚的坩埚上盖与水平方向平行，位于两侧的蒸镀坩埚的坩埚上盖朝中间倾斜。