[实用新型]一种用于提高去蜡清洗抛光的结构有效

专利信息
申请号: 202020072096.3 申请日: 2020-01-14
公开(公告)号: CN211639447U 公开(公告)日: 2020-10-09
发明(设计)人: 戚定定 申请(专利权)人: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00
代理公司: 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 代理人: 沈相权
地址: 311201 浙江省杭州市萧山区杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 提高 清洗 抛光 结构
【权利要求书】:

1.一种用于提高去蜡清洗抛光的结构,其特征在于:包括清洗抛光槽本体(5),所述的清洗抛光槽本体(5)上端两侧边设有呈对称式分布的边齿架(1),两边齿架(1)间设有与清洗抛光槽本体(5)呈一体化的底齿架(3),所述的底齿架(3)与边齿架(1)间均设有过液槽(2),所述的底齿架(3)下方设有与底齿架(3)相平行且与延伸出清洗抛光槽本体(5)外的定位螺栓孔(4);所述的边齿架(1)、底齿架(3)均包括若干呈圆弧端面结构的清洗抛光搁齿(9),两相邻的清洗抛光搁齿(9)间设有排屑槽(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于提高去蜡清洗抛光的结构,其特征在于:所述的排屑槽(10)下端设有与排屑槽(10)呈一体化的圆弧沟槽(11)。

3.根据权利要求1所述的一种用于提高去蜡清洗抛光的结构,其特征在于:所述的过液槽(2)呈1度~3度的倾斜角结构。

4.根据权利要求1所述的一种用于提高去蜡清洗抛光的结构,其特征在于:所述的清洗抛光槽本体(5)两侧边均设有若干呈对称式分布的侧边固定螺栓孔(6)。

5.根据权利要求4所述的一种用于提高去蜡清洗抛光的结构,其特征在于:所述的侧边固定螺栓孔(6)包括螺纹孔(7),所述的螺纹孔(7)与清洗抛光槽本体(5)侧端面间设有与螺纹孔(7)相同轴心式连通的弹簧垫圈沉孔槽(8)。

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