[实用新型]氮氧传感器

说明书

本实用新型公开了一种氮氧传感器，包括：基板，所述基板上开设有依次设置的开口、第一腔室以及第二腔室，第四电极；所述第一电极和所述第四电极用于调节所述第一腔室内氧气浓度；所述第二电极和所述第四电极用于调节所述第二腔室内氧气浓度；所述第三电极和所述第四电极用于测量所述第二腔室内的氧气浓度；以及参比电极，输出给所述参比电极的电流为固定电流；所述第一电极和所述参比电极用于测量所述第一腔室内的氧气浓度，所述第二电极和所述参比电极用于测量所述第二腔室内的氧气浓度。上述氮氧传感器中的参比电极利用固定电流参比代替传统氮氧传感器中的空气参比，使得氮氧传感器即使在恶劣的高原地区等特殊环境中同样适用。

技术领域

本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种氮氧传感器。

背景技术

随着人们环保意识的提高，对汽车、柴油机等机动车排放的尾气，尤其是尾气中的氮氧化物的含量，有了更加严格的规定。目前，常采用氮氧传感器检测汽车尾气中氮氧化物含量。

如图1所示，传统的氮氧传感器在由多层氧化锆基片叠合而成的基板110基础上形成。基板110上开设有开口112、第一腔室114、第二腔室116以及参比气体通道118。基板110外部设置有外电极122，第一腔室114内设置有第一内电极124，第二腔室116内设置有第二内电极126和第三内电极128。其中，外电极122、第一内电极124以及部分基片构成主氧泵，外电极122、第二内电极126以及部分基片构成辅助氧泵，外电极122、第三电极128以及部分基片构成测量氧泵。当氮氧化物从开口112进入到第一腔室114内部后，主氧泵泵走部分氧气，使得第一腔室114内的氮氧化物变为一氧化氮；形成的一氧化氮进入到第二腔室116内后，辅助氧泵进一步泵走氧气，使得一氧化氮在第三电极128的表面还原为氧气和氮气，测量氧泵通过测量分解出来的氧气浓度即可获得从开口112进入的气体中氮氧化物浓度。

其中一层基片内部还设置有参比电极128，参比电极128通过基片内部间隙与参比通道118连接，从而与外部大气连接以获取外部大气中的氧含量以作为参考。参比电极128与第一内电极124和第二内电极126电连接，通过测量参比电极128与第一内电极124之间电压可以测量第一腔室114内部的氧分压，通过测量参比电极128与第二内电极126之间电压可以测量第二腔室116内部的氧分压，从而控制主氧泵和辅助氧泵泵走氧气的量。

但是传统的参比电极128需要依赖大气中氧气浓度以作为参考，参考空气的好坏，直接影响了氧气和氮氧化物测量的测量精度，这种设计在实验室表现良好，但是在现实柴油车应用中就不那么理想了，因为氮氧传感器工作的环境空气质量很差，参考空气一旦被污染，氮氧传感器测量的氧含量和氮氧传感器的测量精度都会大大降低。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种氮氧传感器。

一种氮氧传感器，包括：

基板，所述基板上开设有依次设置的开口、第一腔室以及第二腔室，所述开口与所述第一腔室连通，所述第一腔室与所述第二腔室连通；

第一电极，位于所述第一腔室内；

第二电极，位于所述第二腔室内；

第三电极，位于所述第二腔室内；

第四电极，与所述第一电极、第二电极以及所述第三电极电可配合工作；所述第一电极和所述第四电极用于调节所述第一腔室内氧气浓度；所述第二电极和所述第四电极用于调节所述第二腔室内氧气浓度；所述第三电极和所述第四电极用于测量所述第二腔室内的氮氧化物的浓度；以及