[实用新型]高效石墨烯卷对卷连续生长设备

权利要求书

1.一种石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于，所述设备包括进料舱(3)、生长舱和收料舱(4)，所述进料舱(3)设置两个以上从动辊(8)，所述收料舱(4)设置两个以上主动辊(9)，所述生长舱内设置隔离支撑板(11)，所述隔离支撑板(11)将生长舱分为两个以上生长室，所述生长舱包括石墨烯生长区，所述石墨烯生长区设有加热装置。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，每个所述主动辊(9)独立地连接电机。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述加热装置的上游设有等离子体发生器(13)，所述加热装置的下游设有冷却装置。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述加热装置为加热炉(12)，所述冷却装置为风机。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述生长舱为石英管(10)，所述隔离支撑板(11)为半圆柱形或腰形石英架的平面板。

6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述隔离支撑板(11)设置镂空孔。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述隔离支撑板(11)设置阵列式镂空孔。

8.根据权利要求1-6任一项所述的设备，其特征在于，所述进料舱(3)设有进气口(5)，所述收料舱(4)设有抽气口(6)和破真空阀(7)。

9.根据权利要求1-6任一项所述的设备，其特征在于，所述进料舱(3)和收料舱(4)内靠近生长舱的一侧分别设置导向支撑辊(16)。

10.根据权利要求1-6任一项所述的设备，其特征在于，所述设备为卧式设备或立式设备，当所述设备为立式设备时，所述设备由下至上包括进料舱(3)、生长舱和收料舱(4)，或者所述设备由上至下包括进料舱(3)、生长舱和收料舱(4)。