[实用新型]一种具有在线监控功能的超声波清洗装备

说明书

本实用新型公开了一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，至少包括两套清洗设备和一套干燥设备；所述清洗设备包括清洗槽和储液槽，在清洗槽和储液槽之间设置有进液管道和出液管道，在进液管道上设置有进液泵，在出液管道上设置有过滤装置和液体检测装置；所述干燥设备包括干燥腔体和加热腔体，在干燥腔体上设置有湿度传感器。本实用新型可在线监测与跟踪清洗工作液的参数及干燥腔体的湿度数据，提高镀膜工件的清洗和干燥效率。

技术领域

本实用新型具体涉及一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，主要用于镀膜前的工件清洗和干燥，属于镀膜清洗技术领域。

背景技术

随着世界各国对环保的重视，环保法令日趋严格，真空镀膜代替高消耗、重污染的电镀、热浸镀等传统镀膜技术是社会经济的发展方向。真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。真空镀膜不仅环保，还具有良好的薄膜性能和可镀物质的多样性。

镀膜工件在真空镀膜前的清洁程度对镀膜附着力有着重要的影响作用，故真空镀膜前处理工艺与技术的完善具有重要的意义。现有的用于真空镀膜前超声波清洗设备，对清洗和干燥等各槽状态的监管力度不够，设备不能发挥最佳效能。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，旨在解决对清洗和干燥工序状态监控不足的问题。

本实用新型的技术方案为：一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，至少包括两套清洗设备和一套干燥设备；所述清洗设备包括清洗槽和储液槽，在清洗槽和储液槽之间设置有进液管道和出液管道，在进液管道上设置有进液泵，在出液管道上设置有过滤装置和液体检测装置；所述干燥设备包括干燥腔体和加热腔体，在干燥腔体上设置有湿度传感器。

进一步的，所述液体检测装置至少包括数显pH计、数显折光仪、数显电导率测试仪中的一个。

进一步的，所述过滤装置包括不锈钢过滤网和真空负压进液系统。

进一步的，在所述清洗槽内设置有超声波装置。

进一步的，在所述清洗槽和/或储液槽内设置有加热装置。

进一步的，在所述清洗槽上还设置有高液位溢流口，所述高液位溢流口与过滤装置连通。

进一步的，在所述清洗槽内设置有低液位传感器。

进一步的，在所述加热腔体内设置有高温风机，所述高温风机的出风口与干燥腔体连通。

进一步的，在所述干燥腔体上设置有回风出风口，在回风出风口处安装有空气过滤器，所述回风出风口与加热腔体连通。

有益效果：本实用新型的清洗设备在工作过程中工作清洗液一直处于动态循环中，通过安装的数显pH计、数显折光仪和数显电导率测试仪，可在线监测与跟踪清洗工作液的使用状态，有利于方便管理工作清洗液，使工作清洗液的浓度、pH值和电导率处于正常范围内，充分利用清洗液的使用价值，提高镀膜工件的清洗效率；本实用新型在干燥腔体上安装湿度传感器，可在线监测干燥腔体中的湿度，有利于控制工件在干燥腔体中停留的时间和干燥的速度，提高工作效率。

附图说明

图1为本实用新型超声波清洗装备的组成结构示意图。

图2为清洗设备结构示意图。

图3为干燥设备结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型做详细的说明和解释。

一种具有在线监控功能的真空镀膜前超声波清洗装备，如图1所示，由两套清洗设备1和一套干燥设备2按箭头顺序组成，每套清洗设备1可完成一次清洗工序，每套干燥设备2可完成一次干燥工序。