[实用新型]一种用于高真空度封堵的装置

权利要求书

1.一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：包括密封盖，所述密封盖中心设有通道，所述通道中设有可移动的真空抽气活塞杆，所述密封盖一侧连接有真空过渡法兰；

导向套，通道内设有台阶，所述导向套设置在所述通道的台阶和真空抽气活塞杆之间，所述导向套与所述真空抽气活塞杆之间设有第一密封圈；

定位盘，设置在所述密封盖与所述真空过渡法兰之间，所述定位盘两侧与所述密封盖以及所述真空过渡法兰之间均设有第二密封圈。

2.如权利要求1所述的一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：所述真空过渡法兰上设有通孔，所述定位盘中心设有凸出的凸出部，所述凸出部向所述真空过渡法兰方向凸出并与所述通孔配合；

所述凸出部上设有一径向开口，真空抽气活塞杆上设有销钉，真空抽气活塞杆向密封盖方向移动时，所述销钉对准所述径向开口可穿过所述径向开口进入所述凸出部内部。

3.如权利要求2所述的一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：靠近所述销钉的真空抽气活塞杆端设有封堵连接结构。

4.如权利要求1所述的一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：所述密封盖靠近真空过渡法兰侧设有法兰盘，所述密封盖与所述真空过渡法兰通过螺栓连接。

5.如权利要求1所述的一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：所述导向套的套口两端均设有矩形沟槽环，所述矩形沟槽环内设有所述第一密封圈与所述真空抽气活塞杆配合。

6.如权利要求5所述的一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：还包括带孔压盖，所述带孔压盖一侧设有凸环与所述通道以及真空抽气活塞杆配合，所述带孔压盖将所述导向套限制在所述通道中。

7.如权利要求6所述的一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：所述导向套两端的第一密封圈分别与通道的台阶以及带孔压盖的凸环抵触。