[实用新型]单晶炉热场装置及单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉热场装置，其特征在于，包括：

热屏(1010)，所述热屏(1010)在其中心形成有气流通道；

换热部件(1020)，所述换热部件(1020)设置在所述气流通道内，并围合地形成提拉通道；

所述热屏(1010)设置在坩埚(2000)的上方；

所述热屏(1010)具有底部，所述底部至少部分地阻挡在所述换热部件(1020)与所述坩埚(2000)内的硅熔体液面(2010)之间。

2.根据权利要求1所述的单晶炉热场装置，其特征在于，

所述底部在朝向所述硅熔体液面(2010)的一侧具有隔离面(1010A)；

所述隔离面(1010A)与所述硅熔体液面(2010)之间的距离为10-60mm。

3.根据权利要求1所述的单晶炉热场装置，其特征在于，还包括：

集热体(1030)；

所述集热体(1030)成组地设置于所述换热部件(1020)；

所述集热体(1030)位于所述换热部件(1020)朝向所述提拉通道的一侧。

4.根据权利要求3所述的单晶炉热场装置，其特征在于，

所述集热体(1030)包括凸起部；

所述凸起部自所述换热部件(1020)换热部件向所述提拉通道方向伸出。

5.根据权利要求3所述的单晶炉热场装置，其特征在于，

所述集热体(1030)与所述换热部件(1020)一体式加工而成；或

所述集热体(1030)焊接于所述换热部件(1020)；或

所述集热体(1030)螺纹连接于所述换热部件(1020)。

6.根据权利要求1所述的单晶炉热场装置，其特征在于，

所述换热部件(1020)包括自上而下连接的第一形状轮廓和第二形状轮廓；

所述第一形状轮廓为中空的截断圆锥形筒；

所述第二形状轮廓为中空的圆柱形筒；

所述第一形状轮廓自上而下地收口；

第一形状轮廓的下端的内径与第二形状轮廓的内径相等。

7.根据权利要求1所述的单晶炉热场装置，其特征在于，

所述热屏(1010)包括内壁(1011)；

所述内壁(1011)包括自上而下连接的第二内壁轮廓和第三内壁轮廓；

所述第二内壁轮廓为截断圆锥形；

所述第三内壁轮廓为圆柱形；

所述第二内壁轮廓自上而下地收口；

所述第二内壁轮廓的下端的内径与第三内壁轮廓的内径相等。

8.根据权利要求7所述的单晶炉热场装置，其特征在于，

所述内壁(1011)还包括连接在所述第二内壁轮廓上方的第一内壁轮廓；

所述第一内壁轮廓为圆柱形；

所述第二内壁轮廓的上端的内径与第一内壁轮廓的内径相等。

9.根据权利要求1所述的单晶炉热场装置，其特征在于，还包括：

冷却介质输入管路(1041)；

冷却介质输出管路(1042)；

所述换热部件(1020)内设置有用于冷却介质流通的流道；

流入所述换热部件(1020)的流道的冷却介质由所述冷却介质输入管路(1041)输送；

从所述换热部件(1020)的流道流出的冷却介质由所述冷却介质输出管路(1042)输送。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括：

坩埚(2000)；

加热器，设置在所述坩埚(2000)的外侧，用于对所述坩埚(2000)加热；

根据权利要求1至权利要求9中任一项所述的单晶炉热场装置，

所述单晶炉热场装置的热屏(1010)设置在所述坩埚(2000)的上方。