[实用新型]热制程承载盘

说明书

本实用新型公开一种热制程承载盘，包括：外框架、多个肋条件及多个限位支撑块，外框架围绕形成承载面，多个肋条件连接外框架且设置于承载面，多个限位支撑块滑移套设于这些肋条件，每一个限位支撑块的上表面具有多个锯齿结构。本实用新型解决传统的承载盘无法适用多种尺寸的承载件的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种承载装置，更特别的是涉及一种热制程承载盘。

背景技术

热制程承载盘是用来在热制程中承托承载件(例如玻璃、晶圆等)。承载盘需要耐高温、与承载件尽量少的接触、且承载盘的接触点需要有耐磨耗的性质。因此，传统的热制程承载盘的形状与构造设计很大程度受限于要承载的承载件的尺寸、形状。一旦承载件的形状规格发生改变，既有的热制程承载盘便不适用，需要因应新规格的承载件而开模设计新的承载盘，相当不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决熟知热制程承载盘的种种问题，提出一种热制程承载盘。

为达上述目的及其他目的，本实用新型提出一种热制程承载盘，其包含：外框架，围绕形成一承载面；多个肋条件，连接该外框架且设置于承载面；以及多个限位支撑块，滑移套设于该肋条件，每一该限位支撑块的上表面具有多个锯齿结构。

可选地，每一个该限位支撑块的多个锯齿结构的延伸方向垂直于该限位支撑块的滑移方向。

可选地，该限位支撑块具有三个锯齿结构。

可选地，该限位支撑块的位于中央的锯齿结构的高度高于位于两侧的锯齿结构。

可选地，该外框架为长方形，具有两个长边及两个短边。

可选地，该肋条件包括至少一个长肋条，平行该长边而连接该两个短边。

可选地，该肋条件更包括多个短肋条，平行该短边而连接于该长肋条及该两个长边的其中一个。

可选地，该肋条件更包括多个短肋条，该长肋条数量为多个，该短肋条平行该短边而连接于两个相邻的该长肋条之间。

可选地，该外框架的一个角为斜角。

可选地，该外框架的上表面设有凸起部，该外框架的下表面对应该凸起部的位置设有形状匹配该凸起部的凹陷部。

可选地，该外框架的上表面设有垫高块，该凸起部设于该垫高块的上表面。

可选地，该外框架的外侧面设有凹槽，以供夹爪夹持。

可选地，该外框架的上表面设有刻度线。

可选地，该外框架为铝合金外框架。

可选地，该肋条件为铝合金肋条件。

可选地，该限位支撑块为铁氟龙限位支撑块。

可选地，该限位支撑块为可拆卸式。

可选地，更包括多个辅助支撑块，设于该肋条件，每一个该辅助支撑块的上表面具有支撑齿。

借此，本实用新型的热制程承载盘相较于先前技术，可适用于多种尺寸的承载件，而无需针对每一款承载件而设计对应的承载盘，提高制程上的便利性并降低生产成本。

为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关实用新型的详细说明与附图，但是此多个说明与所附图式仅用来说明本实用新型，而非对本实用新型的权利范围作任何的限制。

附图说明

图1为本实用新型实施例的热制程承载盘的立体示意图。

图2为本实用新型实施例的限位支撑块的示意图。