[实用新型]一种纳米压印设备有效
| 申请号： | 202020088977.4 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN210954603U | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266109 山东省青岛市城阳区长城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 设备 | ||
1.一种纳米压印设备，包括腔体(1)，其特征在于：所述腔体(1)的内腔固定连接有托盘(2)，所述托盘(2)的顶侧壁装配有基板(3)，所述腔体(1)的内腔装配有紫外灯罩(4)，所述紫外灯罩(4)的内腔装配有紫外灯(5)，所述腔体(1)的内腔对称固定连接有支架(6)，所述支架(6)的底侧壁固定连接有压板(7)，所述压板(7)的底侧壁装配有软模具(8)，所述软模具(8)的底侧壁装配有夹具(9)，所述紫外灯罩(4)的底侧壁装配有遮光板(10)，所述遮光板(10)的外侧壁对称固定连接有凹块(11)，所述凹块(11)的内腔装配有凸块(12)，所述凸块(12)的外侧壁固定连接有弹簧(13)，所述弹簧(13)的外侧壁固定连接有侧杆(14)，所述侧杆(14)的外侧壁与支架(6)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述凸块(12)的顶侧壁固定连接有外杆(15)，所述外杆(15)的外侧壁与支架(6)间隙配合。
3.根据权利要求1所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述支架(6)的外侧壁固定连接有加强杆(16)，所述加强杆(16)的顶侧壁与腔体(1)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述紫外灯罩(4)的内腔对称固定连接有内杆(17)，所述内杆(17)的顶侧壁固定连接有螺纹杆(18)，所述螺纹杆(18)的外侧壁装配有空心块(19)，所述螺纹杆(18)的外侧壁螺纹连接有螺纹块(20)，所述螺纹块(20)的顶侧壁与空心块(19)的相贴合，所述空心块(19)的侧壁与紫外灯(5)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述腔体(1)的外侧壁装配有套板(21)，所述套板(21)的底侧壁固定连接有螺孔板(22)。
6.根据权利要求5所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述套板(21)的顶侧壁固定连接有套块(23)，所述套块(23)的内腔装配有滚珠(24)，所述滚珠(24)的侧壁与腔体(1)相贴合。
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