[实用新型]原位电子显微镜离子辐照损伤光学特征深度分布分析装置

权利要求书

1.原位电子显微镜离子辐照损伤光学特征深度分布分析装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有支撑台(2)，所述支撑台(2)的顶部固定安装有摄像模块(3)，所述底座(1)的顶部固定安装有驱动箱(4)，所述驱动箱(4)的顶部固定安装有第一电机(5)，所述驱动箱(4)的内部固定安装有支撑板(6)，所述支撑板(6)的内部固定安装有联轴器(7)，所述驱动箱(4)内腔的底壁固定安装有轴承(8)，所述联轴器(7)和轴承(8)的内部固定安装有螺纹杆(9)，所述螺纹杆(9)的外表面活动安装有螺纹套(10)，所述螺纹套(10)的右侧固定安装有侧杆(11)，所述驱动箱(4)的右侧开设有杆口(12)，所述侧杆(11)的右侧固定安装有限定块(13)，所述限定块(13)的内部活动安装有限定杆(14)，所述底座(1)的顶部固定安装有支杆(15)，所述支杆(15)的外表面活动安装有杆套(16)，所述杆套(16)的左侧固定安装有第二电机(17)，所述第二电机(17)与限定杆(14)相对的一侧之间固定安装有样品控制台(18)，所述样品控制台(18)的顶部固定安装有样品本体(19)。

2.根据权利要求1所述的原位电子显微镜离子辐照损伤光学特征深度分布分析装置，其特征在于：所述侧杆(11)活动安装在杆口(12)的内部，所述支杆(15)位于驱动箱(4)的右侧。

3.根据权利要求1所述的原位电子显微镜离子辐照损伤光学特征深度分布分析装置，其特征在于：所述底座(1)的底部固定安装有防滑脚，所述摄像模块(3)面向样品本体(19)方向。

4.根据权利要求1所述的原位电子显微镜离子辐照损伤光学特征深度分布分析装置，其特征在于：所述驱动箱(4)的形状为内部空心的长方体，所述螺纹杆(9)的外径与轴承(8)的内径相适配。

5.根据权利要求1所述的原位电子显微镜离子辐照损伤光学特征深度分布分析装置，其特征在于：所述侧杆(11)的大小与杆口(12)的大小相适配，所述限定块(13)的内径与限定杆(14)的外径相适配。

6.根据权利要求1所述的原位电子显微镜离子辐照损伤光学特征深度分布分析装置，其特征在于：所述杆套(16)的形状为内部空心且顶面和底面均缺失的圆柱体，所述杆套(16)的内径与支杆(15)的外径相适配。