[实用新型]晶硅炉的成型炉底以及晶硅炉有效
申请号: | 202020091057.8 | 申请日: | 2020-01-16 |
公开(公告)号: | CN211921749U | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 赵贝;王宗均;李伟 | 申请(专利权)人: | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 徐颖聪 |
地址: | 054000 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶硅炉 成型 以及 | ||
1.一种晶硅炉的成型炉底,其特征在于,所述成型炉底包括:
桶状本体,所述本体的环形侧壁上沿所述侧壁的圆周方向设置有两对以上排废口,其中每对排废口相对设置,并且所述排废口贯通所述环形侧壁;
多个封堵,多个所述封堵分别用于堵塞所述排废口并保留其中的一对排废口开放。
2.根据权利要求1所述的晶硅炉的成型炉底,其特征在于,所述排废口在所述本体的侧壁的圆周方向上均匀分布。
3.根据权利要求2所述的晶硅炉的成型炉底,其特征在于,包括两对排废口,所述两对排废口中的一对排废口之间的连线与另一对排废口之间的连线相互垂直。
4.根据权利要求1所述的晶硅炉的成型炉底,其特征在于,所述封堵为固化碳毡制件。
5.根据权利要求1所述的晶硅炉的成型炉底,其特征在于,所述成型炉底还包括密封件,所述密封件设在所述封堵与所述排废口之间以密封所述封堵与所述排废口之间的间隙。
6.根据权利要求5所述的晶硅炉的成型炉底,其特征在于,所述密封件为石墨纸制件。
7.根据权利要求1所述的晶硅炉的成型炉底,其特征在于,所述成型炉底还包括一套保护件,所述一套保护件形成为环形且分别嵌入在开放的一对所述排废口内。
8.根据权利要求7所述的晶硅炉的成型炉底,其特征在于,所述保护件为毡环。
9.一种晶硅炉,其特征在于,包括权利要求1至8任一项所述的晶硅炉的成型炉底。
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