[实用新型]一种硅片插片用除水珠装置

权利要求书

1.一种硅片插片用除水珠装置，其用于一插片机构(3)，所述插片机构(3)一侧置放有供硅片插入的片篮(3-1)，其特征在于，所述除水珠装置包括通过连接杆(2)连接于所述插片机构(3)朝向片篮一侧上的吹气装置(1)，所述吹气装置(1)包括充气盒(11)和固定连接于充气盒(11)一侧的倾斜板(12)，所述充气盒(11)的两端均连接有连接杆(2)，所述充气盒(11)内设有通气腔(14)，且所述充气盒(11)的顶部连接有连通通气腔(14)的总送气管(6)，所述总送气管(6)的另一端连接气泵，所述倾斜板(12)由其固定端向其相背端渐低，所述倾斜板(12)内开设有连通通气腔(14)的出气口(13)，且出气口(13)贯通倾斜板(12)的低端侧。

2.根据权利要求1所述的一种硅片插片用除水珠装置，其特征在于，所述插片机构(3)上对应位于倾斜板(12)的延长线上的位置开设有安装槽(7)，所述安装槽(7)内设有用来控制气泵是否启动的开关机构，所述开关机构包括通过弹簧(9)与安装槽(7)底部连接的升降块(27)、固定在升降块(27)底部的第一触点(28)及固定在安装槽(7)底部的第二触点(30)，所述升降块(27)的顶面呈弧形曲面，当弹簧(9)处于自然状态时，所述升降块(27)的底部位于安装槽(7)内，所述升降块(27)的顶部位于安装槽(7)的上方，且升降块(27)的顶部与安装槽(7)上端口之间的距离等于第一触点(28)与第二触点(30)相向面之间的距离。

3.根据权利要求2所述的一种硅片插片用除水珠装置，其特征在于，所述升降块(27)的底部和安装槽(7)的底部分别固定连接有相向设置且相适配的内套筒(29)和外套筒(8)，所述第一触点(28)和第二触点(30)分别位于内套筒(29)和外套筒(8)内侧，所述弹簧(9)套装在内套筒(29)和外套筒(8)外侧。

4.根据权利要求2所述的一种硅片插片用除水珠装置，其特征在于，所述升降块(27)的一侧固定有限位块(20)，且安装槽(7)的相应侧开设有与限位块(20)相适配的限位滑槽(10)，初始状态下，所述限位块(20)位于限位滑槽(10)的上端。

5.根据权利要求1～4任一项所述的一种硅片插片用除水珠装置，其特征在于，所述连接杆(2)包括固定在插片机构(3)上的气缸(21)及伸缩式设于气缸(21)上部的活塞杆(22)，所述充气盒(11)连接在活塞杆(22)的上端，所述气缸(21)的底部一侧开设有通气口(4)，且所述通气口(4)上连接有通气管(5)，所述充气盒(11)背向倾斜板(12)的一侧固定连接有呈圆筒形的开关阀体(15)，所述开关阀体(15)与充气盒(11)之间开设有连通开关阀体(15)内腔和通气腔(14)的分流口(25)，所述开关阀体(15)背向分流口(25)的一侧开设有连通开关阀体(15)内腔的排气口(17)，所述通气管(5)的另一端连通于开关阀体(15)的内底面中心处，所述开关阀体(15)的内腔中设有完全贴附其内壁的转动阀芯(26)，所述转动阀芯(26)内开设有连通其底面及其一侧侧面的中间通腔(16)，且中间通腔(16)的底部与通气管(5)连通，所述转动阀芯(26)的顶部中心处连接有向上延伸并贯穿开关阀体(15)顶部的转动手柄(23)，所述开关阀体(15)顶部供转动手柄(23)穿过的位置处设有密封轴承(18)。

6.根据权利要求5所述的一种硅片插片用除水珠装置，其特征在于，所述转动手柄(23)上穿设有一根竖直设置的锁定插销(19)，所述开关阀体(15)的顶面上环绕密封轴承(18)的周侧等间距开设有四个与锁定插销(19)的下端相适配的锁定插槽(24)。