[实用新型]一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置有效
申请号: | 202020097176.4 | 申请日: | 2020-01-16 |
公开(公告)号: | CN211284527U | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 马毅;吴伊帆;谢续友;黄先伟;俞越翎;张泰华 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/54 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 吴秉中 |
地址: | 310014 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 液氮 制冷 升降 便携式 样品 装置 | ||
1.一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置,其特征在于,包括腔体(9)、腔体内制冷装置、腔体外冷却装置、控制显示装置及样品固定装置,所述腔体内制冷装置包括支撑柱(15)及设置在支撑柱(15)上的S型紫铜盘管(16),所述腔体外冷却装置包括氮气罐(14)、液氮罐(1)、紫铜盘管(2)及紫铜管(3),所述紫铜盘管(2)设置在液氮罐(1)内,且与氮气罐(14)之间通过氮气连接管道相连通,所述紫铜盘管(2)与S型紫铜盘管(16)之间通过紫铜管(3)连通。
2.根据权利要求1所述的一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置,其特征在于,所述控制显示装置包括控制显示组件(12)、温度传感器(8)及控制阀门(13),所述控制显示组件(12)设置在氮气连接管道上,所述温度传感器(8)设置在腔体(9)外侧,所述控制阀门(13)设置在氮气罐(14)顶部,所述控制显示组件(12)与温度传感器(8)电信号相连,所述控制阀门(13)与控制显示组件(12)电信号相连。
3.根据权利要求1所述的一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置,其特征在于,所述样品固定装置包括基材紧固装置及样品台固定装置,所述基材紧固装置包括螺杆(6)、螺母(4)及限位板(5),所述螺杆(6)固定设置在腔体(9)顶部,所述限位板(5)穿设在螺杆(6)上,并通过螺母(4)进行夹紧;所述样品台固定装置包括固定圆盘(7),所述固定圆盘(7)固定于腔体(9)上表面,并通过固定圆盘(7)与真空镀膜机固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置,其特征在于,所述S型紫铜盘管(16)上设有进气口(18)及出气口(17),所述进气口(18)与紫铜管(3)相连,并通过出气口(17)排出腔体(9)。
5.根据权利要求1所述的一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置,其特征在于,所述紫铜管(3)的外面包裹有石棉。
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