[实用新型]掩膜版、待蒸镀像素基板和待蒸镀机构有效
申请号: | 202020102149.1 | 申请日: | 2020-01-16 |
公开(公告)号: | CN211546649U | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 徐国华;王建强;吴蕴泽 | 申请(专利权)人: | 合肥维信诺科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/20;H01L21/68 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 方晓燕 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜版 待蒸镀 像素 机构 | ||
本实用新型涉及一种掩膜版、待蒸镀像素基板和待蒸镀机构。掩膜版包括掩膜本体。掩膜本体具有相对设置的入光面和出光面,形成多个间隔设置的遮光部。至少一个遮光部具有设置于出光面的对位部。本申请提供的掩膜版可以在蒸镀工艺中,实现与待蒸镀像素基板的准确对位,并且使得掩膜版难以移动,遮光部可以更准确的实现材料的蒸镀。本申请提供的掩膜版还可以避免由于受到热辐射、重力、高斯强度不均一等情况造成的蒸镀像素偏移的问题。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,特别是涉及一种掩膜版、待蒸镀像素基板和待蒸镀机构。
背景技术
在有机发光显示器件的制备过程中,有机材料通过高温蒸镀淀积在位于蒸发源上方的基板上,为使有机材料按照设计蒸镀到特定的位置上,在基板下方需使用掩膜版。在蒸镀工艺中,由于受到热辐射、重力、高斯强度不均一等情况,容易造成掩膜版相对像素偏移,造成蒸镀膜层偏移的情况。
实用新型内容
基于此,有必要针对在蒸镀工艺中,由于受到热辐射、重力、高斯强度不均一等情况,容易造成掩膜版相对像素偏移的问题,提供一种掩膜版、待蒸镀像素基板和待蒸镀机构。
一种掩膜版,包括:
掩膜本体,所述掩膜本体具有相对设置的入光面和出光面,所述掩膜本体还具有间隔设置的多个遮光部;
至少一个所述遮光部具有设置于所述出光面的第一对位部。
在一个实施例中,所述第一对位部为第一延伸结构;所述第一延伸结构包括:
第一接触端,与所述出光面所在的表面固定接触;以及
第一自由端,远离所述出光面,并且所述第一延伸结构沿着与所述出光面垂直的方向延伸。
在一个实施例中,所述第一延伸结构包括:第一接触面,用于增加所述第一延伸结构的固定连接能力。
在一个实施例中,所述第一对位部为第一凹槽;所述第一凹槽的开口位于所述出光面。
在一个实施例中,所述第一对位部还包括:
引导体,设置于所述第一凹槽的内槽壁。
在一个实施例中,所述第一对位部还包括:
固定件,一端固定设置于所述第一凹槽的内槽壁,所述固定件的另一端与所述出光面平行。
一种待蒸镀像素基板,包括:
像素基板本体,具有待蒸镀面;以及
至少一个支撑结构,固定设置于待蒸镀面,所述支撑结构具有与所述待蒸镀面间隔的第二对位部。
在一个实施例中,所述第二对位部为第二凹槽,所述第二凹槽的开口背向所述待蒸镀面。
在一个实施例中,所述第二对位部为第二延伸结构;
所述第二延伸结构具有沿所述第二延伸结构延伸方向的引导件,和/或,所述第二延伸结构具有固定凹槽。
一种待蒸镀机构,包括:
上述所述第一对位部为第一延伸结构的掩膜版;以及
上述所述第二对位部为第二凹槽的待蒸镀像素基板;
或者,包括:
上述所述第一对位部为第一凹槽的掩膜版;以及
上述所述第二对位部为第二延伸结构的待蒸镀像素基板;
所述第一对位部与所述第二对位部对位连接。
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