[实用新型]掩膜版、待蒸镀像素基板和待蒸镀机构有效

专利信息
申请号: 202020102149.1 申请日: 2020-01-16
公开(公告)号: CN211546649U 公开(公告)日: 2020-09-22
发明(设计)人: 徐国华;王建强;吴蕴泽 申请(专利权)人: 合肥维信诺科技有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/20;H01L21/68
代理公司: 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 代理人: 方晓燕
地址: 230000 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 掩膜版 待蒸镀 像素 机构
【说明书】:

实用新型涉及一种掩膜版、待蒸镀像素基板和待蒸镀机构。掩膜版包括掩膜本体。掩膜本体具有相对设置的入光面和出光面,形成多个间隔设置的遮光部。至少一个遮光部具有设置于出光面的对位部。本申请提供的掩膜版可以在蒸镀工艺中,实现与待蒸镀像素基板的准确对位,并且使得掩膜版难以移动,遮光部可以更准确的实现材料的蒸镀。本申请提供的掩膜版还可以避免由于受到热辐射、重力、高斯强度不均一等情况造成的蒸镀像素偏移的问题。

技术领域

本申请涉及显示技术领域,特别是涉及一种掩膜版、待蒸镀像素基板和待蒸镀机构。

背景技术

在有机发光显示器件的制备过程中,有机材料通过高温蒸镀淀积在位于蒸发源上方的基板上,为使有机材料按照设计蒸镀到特定的位置上,在基板下方需使用掩膜版。在蒸镀工艺中,由于受到热辐射、重力、高斯强度不均一等情况,容易造成掩膜版相对像素偏移,造成蒸镀膜层偏移的情况。

实用新型内容

基于此,有必要针对在蒸镀工艺中,由于受到热辐射、重力、高斯强度不均一等情况,容易造成掩膜版相对像素偏移的问题,提供一种掩膜版、待蒸镀像素基板和待蒸镀机构。

一种掩膜版,包括:

掩膜本体,所述掩膜本体具有相对设置的入光面和出光面,所述掩膜本体还具有间隔设置的多个遮光部;

至少一个所述遮光部具有设置于所述出光面的第一对位部。

在一个实施例中,所述第一对位部为第一延伸结构;所述第一延伸结构包括:

第一接触端,与所述出光面所在的表面固定接触;以及

第一自由端,远离所述出光面,并且所述第一延伸结构沿着与所述出光面垂直的方向延伸。

在一个实施例中,所述第一延伸结构包括:第一接触面,用于增加所述第一延伸结构的固定连接能力。

在一个实施例中,所述第一对位部为第一凹槽;所述第一凹槽的开口位于所述出光面。

在一个实施例中,所述第一对位部还包括:

引导体,设置于所述第一凹槽的内槽壁。

在一个实施例中,所述第一对位部还包括:

固定件,一端固定设置于所述第一凹槽的内槽壁,所述固定件的另一端与所述出光面平行。

一种待蒸镀像素基板,包括:

像素基板本体,具有待蒸镀面;以及

至少一个支撑结构,固定设置于待蒸镀面,所述支撑结构具有与所述待蒸镀面间隔的第二对位部。

在一个实施例中,所述第二对位部为第二凹槽,所述第二凹槽的开口背向所述待蒸镀面。

在一个实施例中,所述第二对位部为第二延伸结构;

所述第二延伸结构具有沿所述第二延伸结构延伸方向的引导件,和/或,所述第二延伸结构具有固定凹槽。

一种待蒸镀机构,包括:

上述所述第一对位部为第一延伸结构的掩膜版;以及

上述所述第二对位部为第二凹槽的待蒸镀像素基板;

或者,包括:

上述所述第一对位部为第一凹槽的掩膜版;以及

上述所述第二对位部为第二延伸结构的待蒸镀像素基板;

所述第一对位部与所述第二对位部对位连接。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥维信诺科技有限公司,未经合肥维信诺科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020102149.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top