[实用新型]一种持续提供活性硒的装置有效

专利信息
申请号: 202020106940.X 申请日: 2020-01-17
公开(公告)号: CN210956716U 公开(公告)日: 2020-07-07
发明(设计)人: 杜祖亮;刘新胜;刘永军;程轲;刘景玲;索欢;乔雅俊 申请(专利权)人: 河南大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0445;H01L31/0272
代理公司: 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 代理人: 张丽
地址: 475001*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 持续 提供 活性 装置
【权利要求书】:

1.一种持续提供活性硒的装置,其特征在于:包括双温区退火炉以及设于双温区退火炉内的石英管、石墨盒和石墨盒盖,双温区退火炉从左至右包括T1温区和T2温区,石墨盒通过石英支架固定在T2温区,石墨盒内设有基底,石墨盒上盖设有石墨盒盖,石墨盒盖上设有供石英管穿过的石英管通道和供硒通道,石英管通道和供硒通道相互连通,石英管一端封闭、一端敞口,石英管的封闭端位于T1温区、敞口端位于T2温区,且石英管的封闭端设有硒源,硒源右端的石英管内设有传热媒介,石英管的敞口端位于石墨盒盖的石英管通道内,供硒通道和基底上下对应。

2.根据权利要求1所述持续提供活性硒的装置,其特征在于:双温区退火炉内的T1温区、T2温区均设有热电偶温度计。

3.根据权利要求1所述持续提供活性硒的装置,其特征在于:双温区退火炉的侧壁上部分别设有氩气进口管道、空气进口管道、抽真空管道和真空计,氩气进口管道上设有流量计,抽真空管道和真空泵相连。

4.根据权利要求1所述持续提供活性硒的装置,其特征在于:双温区退火炉的上下内壁上设有加热管,加热管之间、加热管和炉壁之间均设有保温棉。

5.根据权利要求1所述持续提供活性硒的装置,其特征在于:所述供硒通道的出口端呈半圆形或喇叭状。

6. 根据权利要求1所述持续提供活性硒的装置,其特征在于:传热媒介距离石英管底的距离为x,传热媒介的长度为y,x、y 不小于零且不大于T1温区长度。

7.根据权利要求1所述持续提供活性硒的装置,其特征在于:所述传热媒介为与石英管内径相适配的石墨条。

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