[实用新型]一种持续提供活性硒的装置有效
申请号: | 202020106940.X | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN210956716U | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 杜祖亮;刘新胜;刘永军;程轲;刘景玲;索欢;乔雅俊 | 申请(专利权)人: | 河南大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0445;H01L31/0272 |
代理公司: | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人: | 张丽 |
地址: | 475001*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 持续 提供 活性 装置 | ||
1.一种持续提供活性硒的装置,其特征在于:包括双温区退火炉以及设于双温区退火炉内的石英管、石墨盒和石墨盒盖,双温区退火炉从左至右包括T1温区和T2温区,石墨盒通过石英支架固定在T2温区,石墨盒内设有基底,石墨盒上盖设有石墨盒盖,石墨盒盖上设有供石英管穿过的石英管通道和供硒通道,石英管通道和供硒通道相互连通,石英管一端封闭、一端敞口,石英管的封闭端位于T1温区、敞口端位于T2温区,且石英管的封闭端设有硒源,硒源右端的石英管内设有传热媒介,石英管的敞口端位于石墨盒盖的石英管通道内,供硒通道和基底上下对应。
2.根据权利要求1所述持续提供活性硒的装置,其特征在于:双温区退火炉内的T1温区、T2温区均设有热电偶温度计。
3.根据权利要求1所述持续提供活性硒的装置,其特征在于:双温区退火炉的侧壁上部分别设有氩气进口管道、空气进口管道、抽真空管道和真空计,氩气进口管道上设有流量计,抽真空管道和真空泵相连。
4.根据权利要求1所述持续提供活性硒的装置,其特征在于:双温区退火炉的上下内壁上设有加热管,加热管之间、加热管和炉壁之间均设有保温棉。
5.根据权利要求1所述持续提供活性硒的装置,其特征在于:所述供硒通道的出口端呈半圆形或喇叭状。
6. 根据权利要求1所述持续提供活性硒的装置,其特征在于:传热媒介距离石英管底的距离为x,传热媒介的长度为y,x、y 不小于零且不大于T1温区长度。
7.根据权利要求1所述持续提供活性硒的装置,其特征在于:所述传热媒介为与石英管内径相适配的石墨条。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的