[实用新型]一种用于集成电路测试的表面扫描装置

说明书

本实用新型公开了一种用于集成电路测试的表面扫描装置，包括工作台，所述工作台顶部的靠中心位置固定安装有放置板，所述放置板的顶部设置有被测试设备本体，所述被测试设备本体的底部与放置板的顶部接触，所述工作台顶部的靠两侧位置均固定连接有支撑板，两个支撑板的顶部固定连接有顶板。该用于集成电路测试的表面扫描装置，通过活动板、扫描支架、横板、旋转轴、探头安装块和探头的设计，使得该装置采用机械定位的方式，拥有高精度的定位系统，保证定位的准确和稳定，使用的定位系统为传统笛卡尔坐标系，机械定位方式，并添加旋转轴，实现四轴定位，精度达到万分之一米级别，磁场探头和电场探头设计结构不同，提高了采样精度。

技术领域

本实用新型涉及集成电路技术领域，具体为一种用于集成电路测试的表面扫描装置。

背景技术

集成电路(integrated circuit)是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。它在电路中用字母“IC”表示。集成电路发明者为杰克·基尔比(基于锗(Ge)的集成电路)和罗伯特·诺伊思(基于硅(Si)的集成电路)。当今半导体工业大多数应用的是基于硅的集成电路。

用于集成电路测试的表面扫描装置，主要是针对在集成电路电磁兼容测试中，在进行EMI辐射发射测试和EMS辐射抗扰度测试时，需要使用磁场或电场探头对集成电路表面进行辐射采样，或是向集成电路表面施加辐射干扰。在这一过程中，需要表面扫描装置，包含定位系统和探头两部分。

传统的用于集成电路测试的表面扫描装置大多手工定位不精准、不稳定，后续生成报告比较繁琐，同时，手工定位采集到的数据只是数字形式，没有图片，不直观。因此，我们提出一种用于集成电路测试的表面扫描装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于集成电路测试的表面扫描装置，以解决上述背景技术中提出传统的用于集成电路测试的表面扫描装置大多手工定位不精准、不稳定，后续生成报告比较繁琐，同时，手工定位采集到的数据只是数字形式，没有图片，不直观的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于集成电路测试的表面扫描装置，包括工作台，所述工作台顶部的靠中心位置固定安装有放置板，所述放置板的顶部设置有被测试设备本体，所述被测试设备本体的底部与放置板的顶部接触，所述工作台顶部的靠两侧位置均固定连接有支撑板，两个支撑板的顶部固定连接有顶板，所述顶板底部的靠中心位置活动安装有活动板，所述活动板底部的靠中心位置活动安装有扫描支架，所述扫描支架前表面的靠顶部位置固定安装有横板，所述扫描支架前表面的靠底部位置活动连接有旋转轴，所述旋转轴的前端固定安装有探头安装块，所述探头安装块的靠中心位置活动安装有探头，所述探头通过导线电性连接有探头适配器，探头适配器位于工作台的后端，所述工作台的底部固定连接有底座。

优选的，所述探头包括电场探头和磁场探头。

优选的，探头适配器采用通用型设计。

优选的，所述顶板的顶部固定连接有防尘垫。

优选的，所述底座的前表面活动安装有两个抽屉，所述抽屉的前表面固定安装有把手。

优选的，所述底座底部的靠四角位置均固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底部固定连接有防滑垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：