[实用新型]窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具

说明书

本实用新型涉及窄截面光电子能谱测试技术领域，尤其涉及一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，包括基板和固定板；所述基板的顶部设置有至少一个准直板，所述准直板沿所述基板的顶部向外延伸；所述固定板和所述基板之间设置有连接结构；所述基板、所述固定板和所述准直板的表面至少有不小于100nm厚的钼层。本实用新型提供的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具用于消除来自于测试样品表面的信号干扰，特别适用于样品相邻测试面材料与截面材料不同的样品测试，能够成功屏蔽来自测试样品相邻测试面的干扰信号，实现了对样品截面的光电子能谱精准测试。

技术领域

本实用新型涉及窄截面光电子能谱测试技术领域，尤其涉及一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具。

背景技术

在截面XPS测试中，尤其是当测试区域靠近其它表面，比如相距50 到100微米时，来自于样品其它相邻面的光激发电子也会被探测到并且形成干扰。来自于样品相邻面的信号将影响截面的测试结果。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的第一目的在于提供一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，用于阻拦干扰信号以尽量保证只有来自测试截面的信号被接收，显著降低了样品其他相邻面的干扰信号对测试截面测试结果的影响。

本实用新型的第二目的在于提供一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法，其采用钼材料物质对上述样品夹具所有表面进行覆盖，去除了大量的干扰信号，并且样品夹具表面的少部分已知的钼干扰信号在光电子谱中可以被扣除，这样就实现了有效屏蔽来自非样品测试截面的干扰信号。

为实现上述目的，本实用新型第一方面的技术方案提供了一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法，基板和固定板分别贴合在样品的正反面；

其中基板的顶部设置有准直板，所述准直板沿所述基板的顶部向外延伸；

所述样品的截面和所述固定板的顶面均贴附于所述准直板的下表面；

固定所述样品，所述样品的截面露出待测部分，然后放在样品台上进行测试；

其中，所述基板、所述固定板和所述准直板的表面至少有不小于 100nm厚的钼层。

在一些可能的实施方式中，所述准直板为两个，分别设置在所述基板的两端。

在一些可能的实施方式中，所述准直板为两个，所述准直板与所述基板的顶部沿所述与所述准直板延伸方向垂直的方向可滑动连接。

本实用新型第二方面的技术方案提供了一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，包括基板和固定板；

所述基板的顶部设置有至少一个准直板，所述准直板沿所述基板的顶部向外延伸；

所述固定板和所述基板之间设置有连接结构；

所述基板、所述固定板和所述准直板的表面至少有不小于100nm厚的钼层。

在一些可能的实施方式中，所述准直板为两个。

在一些可能的实施方式中，所述准直板分别固定设置在沿与所述准直板延伸方向垂直的方向的所述基板的顶部的两端。

在一些可能的实施方式中，所述准直板与所述基板的顶部沿与所述准直板延伸方向垂直的方向可滑动连接。

在一些可能的实施方式中，所述基板和所述固定板上均设置有一个以上通孔，所述通孔中通过放入连接件连接所述基板和所述固定板而将样品固定。

在一些可能的实施方式中，在所述基板和所述固定板上对应地设置两排三列所述通孔，所述通孔均匀分布在所述基板和所述固定板上。