[实用新型]一种用于处理弹夹式产品的等离子体处理装置有效
申请号: | 202020109694.3 | 申请日: | 2020-01-18 |
公开(公告)号: | CN210956593U | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 刘鑫培;沈文凯;王红卫 | 申请(专利权)人: | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 苏州科洲知识产权代理事务所(普通合伙) 32435 | 代理人: | 王悦 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 处理 弹夹 产品 等离子体 装置 | ||
本实用新型涉及一种用于处理弹夹式产品的等离子体处理装置,包括主体框架、真空组件、传输组件、弹夹,所述传输组件的数量为一组,每个所述传输组件分别设置在所述主体框架的两端;所述真空组件设置在所述主体框架上,所述真空组件包括真空腔、电极、抽真空接头;所述电极为平板电极,所述弹夹两侧设置有开槽;本实用新型解决了现有技术中等离子体处理装置的处理效率低、等离子体处理均匀性有限的缺陷,本实用新型能够实现对弹夹式产品进行流水线式等离子体处理,提高处理效率,提高等离子体处理的均匀性,从而提高产品的处理质量。
技术领域
本实用新型涉及等离子体设备技术领域,具体地说是一种用于处理弹夹式产品的等离子体处理装置。
背景技术
等离子体是由大量的带电粒子(包含自由电子、带正电的离子和代负电的离子,也可以存在中性粒子)组成的非束缚态宏观体系,是物质存在的第四态。由于自由电子和正离子的数密度近似相等,等离子体对外整体上呈现电中性。
等离子体技术在众多领域都具有十分显著的优点,在对材料表面进行改性处理方面,具有成本低、无废弃物、无污染等优点;在杀菌消毒方面具有安全性高、无药物残留、灭菌时间短、无环境污染等优点;在对各类污染物(废气、废水)处理方面具有能耗低、效率高、处理流程短、适用范围广等优点。
现有技术中等离子体处理装置,一方面在使用过程中存在人工成本高,处理效率低的问题,例如,往往需要人工每次处理前打开腔门,将待处理产品放置到真空腔内,关闭真空腔,然后抽真空,待真空度达到背底真空后,充入工艺气体,达到平衡后,打开电源进行放电,待等离子体处理完成后,关闭电源,关闭充气,关闭真空泵,打开破真空阀,待真空腔内压力达到大气压后,打开真空腔,再人工将处理完成的产品从真空腔中取出,重复上述操作完成一批待处理产品;另一方面,现有等离子体处理装置多是对单个产品进行等离子体处理,对于弹夹式产品处理效果差,影响产品质量。
现有等离子体处理装置多为单独设置,很少与加工流水线配合使用,往往需要将待处理产品集中起来,然后单独运送至等离子处理装置处进行处理,属于离线式操作,导致处理效率低,产品生产加工成本高,且对弹夹式产品处理强度有限。
因此,如何提供一种用于处理弹夹式产品的等离子体处理装置,以实现对弹夹式产品进行流水线式等离子体处理,提高处理效率,提高等离子体处理的均匀性,从而提高产品的处理质量,是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
实用新型内容
有鉴于此,本申请的目的在于提供一种等离子体处理装置,以实现对弹夹式产品进行流水线式等离子体处理,提高处理效率,提高等离子体处理的均匀性,从而提高产品的处理质量。
为了达到上述目的,本申请提供如下技术方案。
一种用于处理弹夹式产品的等离子体处理装置,包括主体框架、真空组件、传输组件、弹夹,所述传输组件的数量为一组,每个所述传输组件分别设置在所述主体框架的两端;
所述真空组件设置在所述主体框架上,所述真空组件包括真空腔、电极、抽真空接头;
所述电极为平板电极,所述弹夹两侧设置有开槽。
优选地,所述电极包括正电极和负电极,所述正电极和负电极均固定在所述真空腔内;
所述真空腔包括腔体、前盖、后盖,所述前盖、后盖分别设置在所述腔体的两端。
优选地,所述腔体与正电极、负电极之间设置有绝缘板,所述绝缘板通过铝垫块固定在所述腔体上。
优选地,所述腔体内设置有滚筒输送组件,所述滚筒输送组件包括第一电机、动力轴、滚筒及架板;所述架板包括第一架板和第二架板,所述滚筒两端分别固定在所述第一架板和第二架板上;
所述动力轴与所述第一电机传动连接,所述动力轴与所述滚筒通过齿轮传动连接。
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