[实用新型]光栅波导微流体检测系统

权利要求书

1.一种光栅波导微流体检测系统，包括：微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；其特征在于，所述微流体芯片包括：光栅波导和微流道，所述光栅波导包括出射光栅，所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内，所述显微镜用于收集所述微流道内的光信号并向所述测量装置传输所述光信号，所述测量装置用以处理所述光信号并产生待分析信号并向所述分析装置传输所述待分析信号，所述分析装置分析所述待分析信号形成光谱；

所述微流体芯片还包括：依次由下而上设置的下包层、波导层、保护层、上包层和流道盖板，所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光栅波导；所述保护层是二氧化硅材料，用以覆盖所述光栅波导并保护所述出射光栅；

所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层；

所述流道盖板覆盖所述微流道上开口，所述微流道盖板包括用以向所述微流道注入含待检测生物分子溶液的注液口；

所述下包层是厚度为15～30μm高分子聚合材料，所述上包层是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，所述微流道宽度为10-100μm。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，若干个所述光栅波导相互平行，以将光导入所述微流道，所述光栅波导的宽度为300-600nm。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述波导层的折射率为1.75-2.2。

4.根据权利要求2～3任一所述的系统，其特征在于，所述波导层厚度为150nm-1000nm。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括氮化硅材料的入射光栅，以与所述光栅波导形成耦合光栅波导，将所述上包层上方的光导入所述光栅波导直至沿垂直方向向上导入所述微流道；所述保护层覆盖并保护所述入射光栅。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，包括若干个相互平行的所述耦合光栅波导。

7.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述波导层厚度为150nm-1000nm，所述耦合光栅波导的宽度为300-600nm。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括光纤，所述光纤与所述光栅波导光连接。

9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述高分子聚合材料是SU-8树脂、聚酰亚胺、聚二甲基硅烷、聚乙烯或苯丙环丁烯。