[实用新型]一种半导体封装测试装置有效
申请号: | 202020116046.0 | 申请日: | 2020-01-16 |
公开(公告)号: | CN211479983U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 赖金榜 | 申请(专利权)人: | 联立(徐州)半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/687 |
代理公司: | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人: | 范圆圆 |
地址: | 221000 江苏省徐州市经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 测试 装置 | ||
1.一种半导体封装测试装置,包括固定组件(2)、底座(4)和震动组件(8),其特征在于:所述底座(4)的上端中间设置有制冷箱(6),所述制冷箱(6)的一端连接有气泵(5),所述气泵(5)的另一端连接有连接管(1),所述连接管(1)的另一端连接有喷头(11),所述底座(4)上端位于连接管(1)的侧边设置有支柱(3),所述底座(4)的上端设置有震动组件(8),所述震动组件(8)的上端固定有支撑架(9),所述支撑架(9)的上端固定有固定架(10),所述固定架(10)的上端内侧设置有固定组件(2)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体封装测试装置,其特征在于:所述固定组件(2)包括复位弹簧(21)、固定板(22)、滑动杆(23)、压板(24)和紧固栓(25),其中,所述固定板(22)的上端中间贯穿固定有滑动杆(23),所述滑动杆(23)位于固定板(22)上端的表面固定有复位弹簧(21),所述滑动杆(23)的下端设置有压板(24),所述固定板(22)的侧边设置有紧固栓(25)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体封装测试装置,其特征在于:所述震动组件(8)包括第一弹簧(801)、滑动柱(802)、套筒(803)、箱体(804)、电机(805)、连杆(806)、滑杆(807)、第二弹簧(808)、滑座(809)、连接杆(810)和固定杆(811),其中,所述箱体(804)的内部中间固定有电机(805),所述电机(805)的转轴固定有连杆(806),所述连杆(806)的另一端连接有滑杆(807),所述箱体(804)的上端两侧设置有套筒(803),所述套筒(803)的内部设置有第二弹簧(808),所述第二弹簧(808)的上端连接有滑动柱(802),两个所述套筒(803)之间连接有固定杆(811),所述固定杆(811)的表面固定有滑座(809),所述固定杆(811)靠近滑动柱(802)的一端设置有第一弹簧(801),所述滑座(809)与滑杆(807)之间连接有连接杆(810)。
4.根据权利要求2所述的一种半导体封装测试装置,其特征在于:所述复位弹簧(21)在自然状态下处收缩状态,所述压板(24)的下端设置有橡胶垫。
5.根据权利要求3所述的一种半导体封装测试装置,其特征在于:所述第二弹簧(808)在自然状态下处扩张状态,所述滑动柱(802)与套筒(803)之间滑动连接。
6.根据权利要求3所述的一种半导体封装测试装置,其特征在于:所述连接杆(810)与滑座(809)和滑杆(807)之间轴销转动连接,所述滑座(809)与固定杆(811)之间滑动连接。
7.根据权利要求3所述的一种半导体封装测试装置,其特征在于:所述连杆(806)与电机(805)的转轴键销固定,所述连杆(806)与滑杆(807)之间轴销转动连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造