[实用新型]一种扫描探针电阻测试系统

权利要求书

1.一种扫描探针电阻测试系统，其特征在于，包括基准平板、Y轴位移台、支撑结构、X轴位移台、Z轴位移台、显微摄像头、探针头、导线、测量仪表、计算机、位移台控制器、数据线、样品托盘，所述基准平板上设有Y轴位移台，所述Y轴位移台一端的基准平板上竖直设有支撑结构，所述支撑结构顶部设有X轴位移台，所述X轴位移台一端设有显微摄像头，所述X轴位移台中间位置设有Z轴位移台，所述Z轴位移台上固定安装有探针头，所述探针头通过螺栓实现与Z轴位移台的固定，所述基准平板的一侧设有计算机，所述计算机分别通过数据线与测量仪表、位移台控制器相连接，所述计算机通过导线与显微摄像头连接，所述测量仪表与探针头、位移台控制器与Y轴位移台、X轴位移台、Z轴位移台分别通过导线实现电连接，所述Y轴位移平台上设有样品托盘，所述样品托盘通过螺栓与Y轴位移平台实现固定连接。

2.按照权利要求1所述的一种扫描探针电阻测试系统，其特征在于，所述支撑结构为两根相对于基准平板中线对称设置的立柱。

3.按照权利要求1所述的一种扫描探针电阻测试系统，其特征在于，所述Y轴位移台、X轴位移台、Z轴位移台均为直线导轨。

4.按照权利要求3所述的一种扫描探针电阻测试系统，其特征在于，所述Y轴位移台、X轴位移台、Z轴位移台均由电机驱动。

5.按照权利要求1所述的一种扫描探针电阻测试系统，其特征在于，所述Y轴位移台、X轴位移台、Z轴位移台上还设有编码器或光栅尺。

6.按照权利要求1所述的一种扫描探针电阻测试系统，其特征在于，所述测量仪表为直流欧姆表，或者直流电桥，或者交流电桥，或者电化学工作站，或者交流阻抗测试仪。