[实用新型]尾气处理系统

说明书

本实用新型公开了一种尾气处理系统，其一级换热器和二级换热器均包括内腔和外腔，一级换热器的顶部具有连通其内腔与上游工艺设备排气系统的一级进气口，一级换热器的内腔下部具有一级排气口且底部具有一级排液口，一级换热器的外腔底部具有回气口，二级换热器的内腔顶部具有与一级排气口连通的二级进气口以及与回气口连通的二级排气口，二级换热器的内腔底部具有二级排液口；还包括连通于一级排液口和二级排液口下游的冷凝罐，一级换热器的外腔顶部具有与冷凝罐的排液口通过喷淋管连通的喷淋口，喷淋管上连通有喷淋泵；还包括与二级换热器的外腔连通的冷媒供给装置。该尾气处理系统能够避免管路及相关部件发生阻塞，保证尾气顺畅高效处理。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅工艺设备配套组件技术领域，特别涉及一种尾气处理系统。

背景技术

现阶段工业设备运行过程中，尤其是多晶硅工艺设备等，其工艺尾气中通常夹杂有硅粉等固态杂质，需要对其进行处理。

现有的多晶硅工艺设备运行过程中，通常是将尾气通入换热器内冷凝，然后将冷凝得到的液态氯硅烷集中收集处理，然而，受现有换热器结构及其相关管路管径较小等所限，尾气处理过程中极易因尾气中夹杂的硅粉淤积于管路或接口等处而导致换热器等设备运行不畅，需频繁检修，这不仅制约了尾气处理效率，也给整个工艺设备的稳定运行造成不利影响。

因此，如何避免管路及相关部件发生阻塞，保证尾气顺畅高效处理是本领域技术人员目前需要解决的重要技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种尾气处理系统，该尾气处理系统能够避免管路及相关部件发生阻塞，保证尾气顺畅高效处理。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种尾气处理系统，包括一级换热器和二级换热器，所述一级换热器和所述二级换热器均包括自内而外同轴设置的内腔和外腔，所述一级换热器的顶部具有连通其内腔与上游工艺设备排气系统的一级进气口，所述一级换热器的内腔下部具有一级排气口且该内腔的底部具有一级排液口，所述一级换热器的外腔底部具有回气口，所述二级换热器的内腔顶部具有与所述一级排气口连通的二级进气口以及与所述回气口连通的二级排气口，所述二级换热器的内腔底部具有二级排液口；

还包括连通于所述一级排液口和所述二级排液口下游的冷凝罐，所述一级换热器的外腔顶部具有与所述冷凝罐的排液口通过喷淋管连通的喷淋口，所述喷淋管上连通有喷淋泵；

还包括与二级换热器的外腔连通的冷媒供给装置。

优选地，所述喷淋口处设置有雾化喷头。

优选地，所述一级换热器和所述二级换热器均为立式换热器。

优选地，还包括压缩机，所述压缩机的进气口与上游工艺设备排气系统连通，所述压缩机的排气口与所述一级进气口连通，所述压缩机的排液口与所述冷凝罐相连通。

优选地，所述冷媒供给装置为二氯甲烷供给装置。