[实用新型]一种紫外激光器

权利要求书

1.一种紫外激光器，其特征在于，包括在光路上依次设置的泵浦源、聚焦耦合组件、第一全反镜、激光晶体、调Q晶体、分光件、三倍频晶体、二倍频晶体和第二全反镜，所述紫外激光器还包括导光组件；第一全反镜和第二全反镜组成谐振腔；其中，分光件靠近三倍频晶体的出射侧镀有紫外光和绿光的高反膜以及红外光的增透膜，导光组件用于接收分光件反射出的紫外光和绿光，并将紫外光和部分绿光沿着同一光轴反射或透射出谐振腔外。

2.如权利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述导光组件包括一透射镜，所述透射镜接收分光件的反射光的面镀有绿光的透射膜和紫外光的增透膜，所述透射镜将紫外光和部分绿光沿着同一光轴透射出谐振腔外；

或，

所述导光组件包括第一反射镜，所述第一反射镜接收分光件的反射光的面镀有绿光的反射膜和紫外光的高反膜，第一反射镜将紫外光和部分绿光沿着同一光轴反射出谐振腔外。

3.如权利要求2所述的紫外激光器，其特征在于，所述透射镜镀的绿光的透射膜是渐变型透射膜，所述透射镜与电机电连接，控制开关与电机电连接，控制开关控制电机转动，电机转动使得所述透射镜的不同区域置于光路中；

所述第一反射镜镀的绿光的反射膜是渐变型反射膜，所述第一反射镜与电机电连接，控制开关与电机电连接，控制开关控制电机转动，电机转动使得所述第一反射镜的不同区域置于光路中。

4.如权利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述导光组件包括第二反射镜和第三反射镜，第二反射镜接收分光件的反射光的面镀有紫外光的高反膜和绿光的透射膜，第三反射镜的接收第二反射镜的反射光的面镀有紫外光的高反膜和绿光的反射膜，第三反射镜将紫外光和部分绿光沿着同一光轴反射出谐振腔外。

5.如权利要求4所述的紫外激光器，其特征在于，所述第三反射镜镀的绿光的反射膜是渐变型反射膜，所述第三反射镜与电机电连接，控制开关与电机电连接，控制开关控制电机转动，电机转动使得所述第三反射镜的不同区域置于光路中。

6.如权利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述导光组件包括第四反射镜、第五反射镜和第六反射镜，第四反射镜接收分光件的反射光的面镀有紫外光和绿光的高反膜，第五反射镜接收第四反射镜的反射光的面镀有紫外光的高反膜和绿光的透射膜，第六反射镜接收第五反射镜的反射光的面镀有紫外光的高反膜和绿光的反射膜；所述第六反射镜将紫外光和部分绿光沿着同一光轴反射出谐振腔外。

7.如权利要求6所述的紫外激光器，其特征在于，所述第六反射镜镀的绿光的反射膜是渐变型反射膜，所述第六反射镜与电机电连接，控制开关与电机电连接，控制开关控制电机转动，电机转动使得第六反射镜的不同区域置于光路中；所述第四反射镜、第五反射镜和第六反射镜均是45°反射镜。

8.如权利要求3所述的紫外激光器，其特征在于，所述渐变型透射膜对入射到渐变型透射膜上的绿光的透射率由0％至100％渐变。

9.如权利要求3、5或7所述的紫外激光器，其特征在于，所述渐变型反射膜对入射到渐变型反射膜上的绿光的反射率由0％至100％渐变。

10.如权利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述第一全反镜和第二全反镜都是固定的全反镜，或者，都是角度可调节的全反镜，或者，其中一个是固定的全反镜，另一个是角度可调节的全反镜；所述第一全反镜和第二全反镜是平面镜或凹凸镜；所述第一全反镜和第二全反镜镀有红外光的高反膜；所述调Q晶体是电光调Q晶体或声光调Q晶体；所述分光件是偏振片。