[实用新型]一种实时测量激光波长的系统有效

专利信息
申请号: 202020131821.X 申请日: 2020-01-20
公开(公告)号: CN211668646U 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 郭瑞民;董贺伟;李东 申请(专利权)人: 中国计量科学研究院
主分类号: G01J9/02 分类号: G01J9/02
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 莎日娜
地址: 100013 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 实时 测量 激光 波长 系统
【权利要求书】:

1.一种实时测量激光波长的系统,其特征在于,包括:分光结构(1)、平行平板(2),第一光电探测器组(3)、第二光电探测器组(4)、第一放大电路(5)、第二放大电路(6)以及数据采集装置(7);

所述数据采集装置(7)通过激光控制器(8)连接激光器,用于读取所述激光器的温度;

所述分光结构(1)连接所述激光器,用于将所述激光器产生的出射激光分为多束入射光,并使所述多束入射光以不同的目标角度入射所述平行平板(2);

所述第一光电探测器组(3)和所述第二光电探测器组(4)分别用于采集多个反射光汇聚点的第一光强和多个透射光汇聚点的第二光强;其中,所述反射光汇聚点和所述透射光汇聚点是由所述多束入射光中的其中一束入射光经过所述平行平板(2)后得到的多束反射光或多束透射光的汇聚点;

所述第一光电探测器组(3)和所述第二光电探测器组(4)分别用于将采集到的多个所述第一光强和多个所述第二光强转换为多个第一电流信号和多个第二电流信号;

所述第一放大电路(5)和所述第二放大电路(6)分别连接所述第一光电探测器组(3)和所述第二光电探测器组(4),用于将多个所述第一电流信号和多个所述第二电流信号转换为多个第一电压信号和多个第二电压信号;

所述数据采集装置(7)连接所述第一放大电路(5)和所述第二放大电路(6),用于计算得到多个所述第一电压信号和多个所述第二电压信号的比值集合,并依据所述比值集合计算得到所述出射激光的波长取值集合;

所述数据采集装置(7)用于根据预存的参考波长与所述激光器的温度的对应关系,得到所述出射激光的波长区间;

所述数据采集装置(7)用于根据所述波长区间,在所述波长取值集合中确定所述出射激光的波长。

2.根据权利要求1所述的实时测量激光波长的系统,其特征在于,所述数据采集装置(7)包括计算机(72)和数据采集卡(71);

所述激光器通过所述激光控制器(8)连接所述计算机(72);

所述计算机(72)用于通过所述激光控制器(8)调节并读取所述激光器的温度;

所述计算机(72)用于获取测量得到的所述激光器在不同温度时的出射激光的参考波长,与所述参考波长与所述激光器的温度的对应关系;

所述计算机(72)用于保存所述参考波长与所述激光器的温度的对应关系。

3.根据权利要求2所述的实时测量激光波长的系统,其特征在于,

所述激光器连接法布里波罗干涉仪、马赫曾德干涉仪或迈克尔逊干涉仪;

所述激光器用于通过所述法布里波罗干涉仪、马赫曾德干涉仪或迈克尔逊干涉仪测量所述激光器在不同温度时的出射激光的参考波长;

所述计算机(72)用于存储不同温度对应的所述参考波长。

4.根据权利要求1所述的实时测量激光波长的系统,其特征在于,

所述分光结构(1)包括空间光耦合器(11)、平面镜组(12)、第一1/2波片(13)、第二1/2波片(14)、第一PBS棱镜(15)以及第二PBS棱镜(16);

所述空间光耦合器(11)通过光纤连接所述激光器,用于将所述出射激光耦合为空间光,使所述空间光入射到所述第一1/2波片(13)和所述第一PBS棱镜(15)组成的第一分光组件;

所述第一分光组件位于所述空间光耦合器(11)出射所述空间光的一侧,用于将所述空间光分为第一入射光和平行光,并使所述平行光入射到所述第二1/2波片(14)和所述第二PBS棱镜(16)组成的第二分光组件;

所述第二分光组件位于所述第一分光组件出射出所述平行光的区域,用于将所述平行光分为第二入射光和第三入射光;

所述平面镜组(12)用于调节所述第一入射光、所述第二入射光和所述第三入射光的光路,并使所述第一入射光以第一目标角度入射进所述平行平板(2),使所述第二入射光以第二目标角度入射进所述平行平板(2),使所述第三入射光以第三目标角度入射进所述平行平板(2);

所述第一目标角度、所述第二目标角度和所述第三目标角度中任意两者的关于测量曲线的相位差为120度。

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