[实用新型]一种晶圆撕胶废膜回收装置

权利要求书

1.一种晶圆撕胶废膜回收装置，包括竖直设置的安装基板，安装基板上可转动地设置有放料轴，放料轴与安装基板相垂直，放料轴上安装有胶带料盘，胶带料盘上卷绕有多圈胶带，所述安装基板上对应胶带料盘设置有导向辊组，导向辊组下方对应设置有驱动晶圆工作台移动的驱动机构，胶带料盘放出的胶带经过导向辊组导向后与晶圆工作台上的晶圆相接触，其特征在于，所述安装基板上对应胶带可转动地设置有收料筒，收料筒轴线与安装基板相垂直，与晶圆相接触的胶带最后卷绕到收料筒上，所述安装基板背面对应收料筒竖直设置有驱动气缸，驱动气缸的活塞杆伸出端铰接有摆动杆，安装基板背面设置有支座，摆动杆中部与支座相铰接，摆动杆端部连接有压杆轴，压杆轴向前穿过安装基板，位于安装基板前面的压杆轴上套设有压杆，压杆与安装基板相垂直，压杆与收料筒相对应设置，压杆上设置有位置传感器；所述安装基板正面设置有控制驱动气缸的控制开关。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置，其特征在于，所述安装基板上对应压杆轴开设有弧形槽，压杆轴穿过弧形槽，弧形槽位于收料筒的上方。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置，其特征在于，所述收料筒上固定安装有定位支架，定位支架包括位于收料筒外侧的外侧杆和位于收料筒内侧的内侧杆，外侧杆和内侧杆均与收料筒轴线相垂直，外侧杆和内侧杆之间设置有连接杆，外侧杆与收料筒外壁之间留有间隙。

4.根据权利要求1或2所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置，其特征在于，所述收料筒的筒轴穿过安装基板伸到安装基板的后面，收料筒的筒轴与安装基板后面的皮带轮机构相传动连接。

5.根据权利要求1或2所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置，其特征在于，所述安装基板的后面设置有继电器和蜂鸣器，驱动气缸上设置有磁性开关，磁性开关与继电器、蜂鸣器相串联，磁性开关通过继电器控制蜂鸣器的通断。

6.根据权利要求1或2所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置，其特征在于，所述胶带为热熔胶带。

7.根据权利要求1或2所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置，其特征在于，所述导向辊组包括位于晶圆工作台和胶带料盘之间的导向辊一、导向辊二、导向辊三和导向辊四，以及位于晶圆工作台和收料筒之间的导向板、导向辊五和导向辊六，导向板倾斜设置。

8.根据权利要求1或2所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置，其特征在于，所述驱动机构包括导轨，晶圆工作台经滑块滑动连接在导轨上，导轨上设置有驱动晶圆工作台移动的气缸。