[实用新型]一种用于太阳能电池制程的清洁装置有效
申请号: | 202020137626.8 | 申请日: | 2020-01-21 |
公开(公告)号: | CN211404517U | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 张淋;梁建;袁成 | 申请(专利权)人: | 苏州宝馨科技实业股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;B08B3/04;B08B3/10 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 太阳能电池 清洁 装置 | ||
本实用新型提供一种用于太阳能电池制程的清洁装置,包括清洗槽、集液箱、溢流回收装置、进液管、溢流回水管和出液管;集液箱用于盛放清洗液,集液箱、进液管和清洗槽依次连接构成进液支路;溢流回收装置能够承接清洗槽溢出的清洗液,溢流回水管连接溢流回收装置和集液箱,清洗槽、溢流回收装置、溢流回水管和集液箱构成第一出液支路;出液管的进口与清洗槽相连接,出液管的出口与集液箱相连接,清洗槽、出液管和集液箱构成第二出液支路;本实用新型提供的清洁装置设有第一出液支路和第二出液支路,能够在清洁过程中实现清洗液的回收利用,避免清洗液的浪费;在清洁完毕后,能够快速地将清洗液转移至集液箱中,加快工序进展效率。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造领域,特别涉及一种用于太阳能电池制程的清洁装置。
背景技术
太阳能电池的生产技术不断进步,生产成本不断降低,转换效率不断提高,使得光伏发电的应用日益普及并迅猛发展,逐渐成为电力供应的重要来源。
太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化为电能的装置,现阶段以光电效应工作的薄膜式太阳能电池为主流,根据材料的不同,太阳能电池可以分为硅太阳能电池、多元化合物薄膜太阳能电池、聚合物多层修饰电极型太阳能电池、纳米太阳能电池及有机太阳能电池等,其中硅太阳能电池是目前发展最为成熟的太阳能电池,在应用中居主导地位。制造硅太阳能电池的方法主要包括以下步骤:首先将表面清洗干净的P型或者N型硅片经制绒工序形成绒面结构;其次在硅片表面扩散制结,形成N+或者P+的发射极,经过湿法刻蚀去掉硅片侧面和背面的扩散层;然后在其正表面再形成一层具有减反射功能的SiN薄膜;最后在硅片正背面分别制作金属电极,经过烧结形成晶硅太阳能电池。在上述硅太阳能电池的制备过程中,需要对硅片进行多道清洗处理工序,而现有技术中,清洁清洗装置效率低下、且容易造成大量清洗浆料的浪费,从而大大增加了生产制造成本。
基于现有技术存在的上述问题,本申请旨在提供一种用于太阳能电池制程的清洁装置。
实用新型内容
针对现有技术的上述问题,本实用新型的目的在于提供一种用于太阳能电池制程的清洁装置,包括清洗槽、集液箱、溢流回收装置、进液管、溢流回水管和出液管;
所述集液箱用于盛放清洗液,所述进液管的进口与所述集液箱相连接,所述进液管的出口与所述清洗槽相连接,所述集液箱、进液管和所述清洗槽依次连接构成进液支路;
所述溢流回收装置能够承接所述清洗槽溢出的清洗液,所述溢流回水管的进口与所述溢流回收装置相连接,所述溢流回水管的出口与所述集液箱相连接,所述清洗槽、溢流回收装置、溢流回水管和所述集液箱构成第一出液支路;
所述出液管的进口与所述清洗槽相连接,所述出液管的出口与所述集液箱相连接,所述清洗槽、出液管和所述集液箱依次连接构成第二出液支路。
进一步地,所述溢流回收装置设有引流部,所述引流部用于引流所述清洗槽溢出的清洗液。
具体地,所述引流部设有开口,所述溢流回水管的进口与所述开口相连接。
具体地,所述装置还包括控制器,所述进液支路设置有进液泵,所述进液泵用于将集液箱中的清洗液泵至所述清洗槽中,所述进液泵与所述控制器电连接。
优选地,所述第二出液支路设有控制阀,所述控制阀用于控制所述第二出液支路中清洗液的流量,所述控制阀与所述控制器电连接。
具体地,所述清洗槽中设置有第一液位计和第二液位计,所述第一液位计设置在所述第二液位计的上方,所述第一液位计与所述第二液位计均与所述控制器电连接。
优选地,所述集液箱内设置有加热装置,所述加热装置用于加热所述集液箱中的清洗液,所述加热装置与所述控制器电连接。
进一步地,所述集液箱内还设有温度传感器,所述温度传感器与所述控制器电连接。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的