[实用新型]一种晶圆传动机械臂校准用测试片

说明书

本实用新型提供了一种晶圆传动机械臂校准用测试片，用于机台中若干机械臂的相对位置关系的校准，若干机械臂标准的相对位置关系能够根据机台型号确定，测试片为板状结构，规格与传送晶圆一致，且由透明材料制成；测试片上标记有若干标准圆，标准圆位于测试片的顶面和/或底面；标准圆与机械臂相对应，用于确定机械臂与测试片的相对位置；若干标准圆的相对位置关系与若干机械臂标准的相对位置关系相对应。这种测试片可以对机械臂相对位置进行精准校准，提高了精确度和提高操作效率，并且还可以替代晶圆对机械臂进行校准，减少了晶圆破碎的风险。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种用于晶圆传送机械臂校准的测试片。

背景技术

在对光学显微镜(OM)机台中各个晶圆传送机械臂的位置进行调整时，由于缺少规范的流程，无法对各个机械壁进行位置上的精确校正，往往导致校准无效。例如型号为AL320的机台中包括五个形状不尽相同的传送机械臂(CR、FS、BS、FA、平台)，目前对各传送臂进行相对位置的调整时，一般需要多个操作人员采用直尺进行测量，但是由于直尺和人工操作的精确度有限，导致测量数值有偏差，并且由于机台设有多个晶圆传送位置，需要对不同位置的机械臂进行分别测量，目前只能通过人眼辨别，精确度低又费时费力，在进行多次不连续的测量和调试之后，会产生不同程度上的误差，最终导致校正不精确，甚至会造成晶圆或机台零件的损伤，并且操作时间过长会增加机台被污染的概率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆传送机台校准用测试片，可有效解决传送机台校准时准确度不高又费时费力的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供了一种晶圆传送机械臂校准用测试片，用于机台中若干机械臂的相对位置关系的校准，所述若干机械臂标准的相对位置关系能够根据所述机台型号确定，其特征在于：所述测试片为板状结构，规格与传送晶圆一致，且由透明材料制成；所述测试片上标记有若干标准圆，所述标准圆位于所述测试片的顶面和/或底面；所述标准圆与所述机械臂相对应，用于确定所述机械臂与所述测试片的相对位置；所述若干标准圆的相对位置关系与所述若干机械臂标准的相对位置关系相对应。

可选地，还包括标记在所述测试片上的刻度线，所述刻度线位于所述测试片的顶面和/或底面。

可选地，还包括若干中线；所述刻度线沿所述中线标记，标记所述中线上的点到所述测试片圆心的距离。

可选地，所述刻度线为圆形，圆心与所述测试片的圆心相对应，所述刻度线标记有所述圆形的尺寸。

可选地，所述刻度线为网格状刻度。

可选地，所述刻度线能够标记的最小刻度单位是5mm。

可选地，所述传送晶圆为12寸晶圆。

可选地，所述测试片由透明的聚苯乙烯板或者透明的亚克力板制成。

可选地，所述标准圆相对于所述测试片的顶面或底面所在的平面凸起或凹陷，或者与所述顶面或底面位于同一平面上。

可选地，所述刻度线相对于所述测试片的顶面或底面所在的平面凸起或凹陷，或者与所述顶面或底面位于同一平面上。

如上所述，本实用新型的一种晶圆传送机台校准用测试片，具有以下有益效果：

(1)本实用新型提供了一种具有透明特性的传动机械臂校准用测试片，测试片上标记有不同机械臂对应的标准圆或刻度线，使用时将标准圆与机械臂对准，可以实现精准地对不同机械臂相对位置进行校准的目的，减少了操作误差，提高精确度；

(2)本实用新型提供的测试片可以起到快速校准的作用，提高操作效率，降低机台污染的概率；

(3)本实用新型提供的测试片可以替代晶圆对传动机械臂进行校准，减少了晶圆破碎的风险，降低了操作成本。