[实用新型]一种开合炉门装置

说明书

一种开合炉门装置，包括安装板、支撑板、驱动装置、传动结构、炉门调节装置以及炉门；所述支撑板垂直设置于安装板上方；所述驱动电机设置于支撑板；所述炉门调节装置设置于支撑板，炉门调节装置和驱动电机之间设置传动结构；所述炉门设置于炉门调节装置；本实用新型通过设置丝杆以及导向块和随动轴承的配合实现用一个动力驱动，使炉门在两个相互垂直的方向上运动。

技术领域

本实用新型涉及半导体和太阳能电池制造领域，特别是涉及一种开合炉门装置。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD 之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前行业内已有不少相关的设备，比如扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积炉等，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工。半导体或光伏材料的加工，通常线打开炉门，让载硅片的舟进入炉管，再关上炉门，在部分工艺过程中炉管需要进行抽真空处理，炉管为真空状态。炉管的炉门要求既有较高的保温或密封效果，或保温和密封兼具。

常用的炉门开合装置，有的通过直接伸缩机构，实现待机时将炉门伸到炉口遮挡辐射；有的先伸出炉门，在向炉门靠拢，实现保持炉温的作用。但是上述的开合装置一般需要两个驱动，一个负责移动炉门到炉口，一个负责将炉口处的炉门移动到炉管接触面，结构动作复杂。

发明内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种开合炉门装置，结构简单，使用方便。

一种开合炉门装置，包括安装板、支撑板、驱动装置、传动结构、炉门调节装置以及炉门；所述支撑板设置于安装板上方；所述驱动电机设置于支撑板；所述炉门调节装置设置于支撑板，炉门调节装置和驱动电机之间设置传动结构；所述炉门设置于炉门调节装置。

进一步的，所述传动结构包括齿轮和丝杆，齿轮设置于驱动电机和丝杆之间。

进一步的，所述炉门调节装置包括转接板、滑板以及悬臂；所述转接板以及滑板与支撑板设置，所述转接板设置于丝杆；所述滑板设置于转接板；所述悬臂设置于滑板，悬臂设置于滑板。

进一步的，所述滑板与转接板之间设置有交叉滚子导轨；所述交叉滚子导轨与丝杆的走向平行。

进一步的，所述滑板和转接板之间设置有压缩弹簧一；所述压缩弹簧一与丝杆的走向平行设置；压缩弹簧一的两端分别与转接板以及滑板固定连接。

进一步的，所述滑板上固定设置有限位板，所述限位板与限位块相对应，所述限位块可以固定设置于支撑板上。

进一步的，所述悬臂与滑板之间设置压缩弹簧二；所述压缩弹簧二包括压块，压块位于悬臂远离滑板的一侧。

进一步的，所述转接板设置有浮动座；所述浮动座设置于转接板；浮动座与转接板之间设置压缩弹簧三；浮动座上设置有导向块；导向块垂直于转接板设置，并且导向块与丝杆的走向平行；导向块上设置有弧形镂空；弧形镂空内设置有随动轴承；悬臂上设置滑轮座与随动轴承连接。

进一步的，所述悬臂上固定设置有炉门，炉门与支撑板平行设置。

进一步的，所述开合炉门的装置还包括限位传感器一、二；所述限位传感器一和限位传感器二分别设置于丝杆靠近驱动电机的一端的上下两侧。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过设置丝杆以及导向块和随动轴承的配合实现用一个动力驱动，使炉门在两个相互垂直的方向上运动。

本实用新型结构简单，传动效率高。