[实用新型]一种炉门冷却装置

说明书

一种炉门冷却装置，包括炉门、散热器；所述散热器包括散热片、进气管以及抽风口；所述进风口以及抽风管设置于炉门的侧面，进风口和通风管设置于炉门圆心的两侧；本实用新型通过设置散热器，实现炉门的风冷散热，既保证了密封圈不会因为遭受高温而损坏，又保护了炉门的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及半导体和太阳能电池制造领域，特别是涉及一种炉门冷却装置。

背景技术

在半导体等光伏产品制造的过程中，往往离不开高温环节，比如扩散炉、氧化炉、退火炉等等都是在内部高温的环境下进行工作的，而且工艺进行的过程中炉体内部的压力较低，这就要求炉体需要有比较好的保温性能。目前，往往在炉门处设置密封圈加炉管法兰的方法实现炉体的保温，但是密封圈的寿命会受到炉体的温度以及压力的影响，当炉体的压力变大，热气流流速增快，密封圈连接处的温度也会快速增加，甚至可能会超过连接处密封圈的允许温度，损坏密封圈。为了避免上述情况的发生，多采用对密封圈外部，也就是炉门的外侧设置水冷的方式保护密封圈的使用寿命。但是由于炉门的金属材质容易受到腐蚀，特别是在磷扩散工艺中，金属炉门极容易受到腐蚀生锈，虽然保护了密封圈的使用寿命，但是影响了炉门的使用寿命，得不偿失，而且炉门生锈，还会使生产过程产生隐患，并且容易对炉内的加工工艺产生污染。

发明内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种炉门冷却装置，结构简单，使用方便。

一种炉门冷却装置，包括炉门、散热器；所述散热器包括散热片、进气管以及抽风口；所述进风口以及抽风管设置于炉门的侧面，进风口和通风管设置于炉门圆心的两侧。

进一步的，所述进气管靠近炉门的部位设置有多孔出气孔；设置有多孔出气孔的部分进气管与散热片近似垂直或者垂直。

进一步的，所述抽风口抽出的气流的流向与散热片平行。

进一步的，所述密封圈设置于炉门与炉体连接部位。

进一步的，所述炉门呈圆形，炉门上设置有通孔，所述通孔有三个，分别为通孔一、通孔二和通孔三；所述通孔一和通孔二关于炉门的直径对称设置，通孔一和通孔二的形状大小均相等；所述通孔三的圆心设置于通孔一和通孔二对称的直径上；炉门的圆心位于通孔一、二、三为顶点组成的三角形中；通孔三向炉门的外侧凸起。

进一步的，所述散热片的设置避开通孔一、二、三，穿过通孔的散热片分为两部分，分别位于通孔的两侧。

进一步的，所述炉门的外侧设置有散热片；所述散热片为矩形的薄片，所有散热片平行、等间距设置。

进一步的，所述散热片为弧形，其中最靠近炉门圆心的散热片的弧度越小，越远离炉门圆心的散热片的弧度越大；散热片的设置避开了上述的通孔一、二、三，穿过通孔的散热片分为两部分，分别位于通孔的两侧。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过设置散热器，实现炉门的风冷散热，既保证了密封圈不会因为遭受高温而损坏，又保护了炉门的使用寿命；

本实用新型通过设置散热片能够实现炉门高效的降温，同时能够在炉门和散热片之间设置高导热材料，进一步提高散热效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例一的整体结构图；

图2为本实用新型实施例一整体的侧视图；

图3为本实用新型实施例一整体的正视图；

图4为本实用新型实施例二整体的正视图。

附图标识说明：炉门1、通孔一11、通孔二12、通孔三13、密封圈2、散热器3、散热片31、进气管32、抽风口33。

具体实施方式